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序
自從古希臘哲學家在兩千多年前提出原子學說以來,能看到原子一直
是 人 們 夢 寐 以 求 的。俗 云「百 聞 不 如 一 見」,西 諺 也 有「Seeing is
believing」, 可見眼見為憑是人類的天性。因此,兩千多年來人們一直不
遺餘力地改善他們觀察事物的能力。先是在 17 世紀藉助光學顯微鏡看到
細菌和細胞的微米世界。接著又在 20 世紀發明了電子顯微鏡、場離子顯
微鏡、原子探針等,從而進入了病毒和奈米晶體的奈米世界,甚至能看到
單個原子。近二十年來掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡等又應運而生,不
但使我們洞悉原子世界,還能藉由操縱原子而改造世界,前景無限美好。
本書就是從科普和科學史的角度沿著這三個層次展開的。
本書作者在大學本科學的是理論物理,研究生階段專攻電子顯微學,
後來又到國際上一些知名的電子顯微學中心從事先進材料的研究,如德國
(German)尤 利 希(Jülich)研 究 中 心、比 利 時(Beligum)安 特 衛 普
(Antwerpen)大學、美國(America)洛斯阿拉莫斯(Los Alamos)國
家實驗室、勞倫斯‧伯克利(Lawrence Berkeley)國家實驗室等等。因此
他不但具有深厚的理論基礎,又有高超的實驗技能,從而能深入淺出地說
清楚各種顯微鏡的原理及關鍵技術。在科學史方面,作者從小就受他外祖
父錢臨照先生(錢先生是中國科學史學會第一任理事長,也是中國電子顯
微鏡學會第一任理事長)的教誨和薰陶,對顯微鏡的每一重大進展都要溯
本求源,不僅要弄清來龍去脈,還要分析前因後果,一一娓娓道來,中間
還夾有名人趣事,所以,有此愛好,本書寫出來後,自然會令讀者興趣盎
然,愛不釋手。
顯微鏡是一種儀器,使用人往往只重視使用(即實驗結果),而忽略
儀器的特性,本書中有不少地方闡述實驗技巧的重要性。例如,圖 2-4 所
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與 SPM 相比,透射電子顯微鏡則是價值上百萬美元的龐然大物(見
圖 3-35)。它從 1931 年作為一個只有放大作用的簡單儀器問世起,逐漸
發展成不但能觀察到原子,還能從標本的 X 射線和電子能譜得知其化學成
分,從它的電子繞射圖得知其晶體結構的全能儀器。這是奈米研究不可或
缺的研究手段,也是本書中著墨最多的第 3 章。在該章之初,作者從倫琴
(W. C. Röntgen)在 1895 年發現 X 射線和湯姆遜(J. J. Thomson)在
1897 年發現電子講起;接著講到勞厄(Laue)和布喇格(Bragg)父子在
1912 年 發 現 晶 體 對 X 射 線 的 繞 射,電 子 的 波 動 性(德 布 羅 意〔De
Broglie〕,1925),戴維森(Davisson)和湯普森(G. P. Thomson)在
1927 年 分 別 發 現 電 子 繞 射,以 及 貝 特(Bethe)解 薛 定 格 方 程 式
(Schrödinger equation)得出電子散射矩陣;中間還穿插著蓋博(Gabor)
一度研究過電子光學想造電子顯微鏡(electron microscope),終因顧慮
電鏡的機械穩定性達不到原子解析要求而放棄了它,但他卻在後來發現了
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雷射(laser)全像(holography)。這一串近二十位諾貝爾物理學獎得主
的貢獻不但闡明了電子顯微鏡的理論基礎,也是 20 世紀上半葉物理學史
的回顧。
接著是一些電氣工程師登場,僅憑著對在陰極射線管外邊繞些線圈可
以使電子束聚焦的理解,就真槍實彈地開始研製電子顯微鏡,其中關於發
明 權 的 爭 論 最 引 人 注 目。這 裡 邊 有 西 門 子 公 司(Siemens)和 德 國
(German)的通用電氣公司(General Electrical)之爭,有物理學家(魯
登伯格〔Rüdenberg〕搶先申請到電子顯微鏡的專利,但從未進行過研製)
和電氣工程師(魯斯卡,E. Ruska)之爭,有魯斯卡和他的妹夫也是合作
者鮑里斯(Von Borries)的親屬之爭,從歐洲戰爭前爭到歐洲戰爭後,甚
至訴諸法庭,鬧得不可開交。最後還是因為其他有爭議權的人都陸續自然
死亡,魯斯卡才得以在 1986 年八十歲高齡之際,毫無爭議地獲得諾貝爾
物理學獎。
作者在這一章的結尾詳盡地介紹了近幾年來幾個電子光學和電子顯微
學中心如何攜手解決電磁透鏡的球差和色差,從而把電子顯微鏡的解析度
提高到接近 0.1 奈米的水準。這樣的總結還是初次看到,可作為對此有興
趣的讀者參考,不過這種電鏡價值連城,非 300 萬美元不能買下,對大多
數人來說是可望而不可及的。
我認為這本小書會把讀者帶進科學殿堂,進入奈米世界,繼續進行千
年追求,永無止境。
中國電子顯微學會理事長 郭可信
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前 言
簡單說來,奈米只不過是一個普通的長度單位,就如同我們日常生活
中所熟悉的公里和公分一樣。但是奈米所標記的長度之微小,的確是一般
人以前所不太熟悉的。奈米中的奈字,譯於英文的 nano,而 nano 又是由
希臘文的 nanos 演變而來。nanos 本意為矮小或矮小的。1 奈米相當於 1 公
尺的 10 億分之一(10 9公尺)。具體地說,1 奈米大約相當於一粒細沙長
度的 100 萬分之一,或可說為人的一根頭髮的 10 萬分之一。香煙霧氣中
的一粒微塵大小約為 1000 奈米。而在 1 奈米的長度上擠擠挨挨也只能排
列不到 10 個原子。如果把一個原子放大到一個蘋果那麼大,那麼用同樣
的放大倍數可將這個蘋果放大到整個地球那麼大。這麼小的尺寸當然無法
用肉眼辨認,甚至用最好的光學顯微鏡也力有未逮。
有人會問,這種小不點的尺寸與我們的生活有什麼關係呢?答案是非
常有關係,尤其是在今後的年代更是如此。奈米效應的神奇,首先體現在
材料物理性能的改變。當物體小到只有奈米尺寸時,物質的許多物理特徵
如力學、熱學、電子學特性都會大大改變。有一個簡單的比喻是,由 1 立
方公釐的玻璃可推知整座玻璃山的性能,但當玻璃尺寸小到奈米時,一切
卻都不同了。奈米材料的應用前景是顯而易見的。例如,在醫藥工業方
面,除了已經發現將某些藥粉顆粒減小到奈米尺度可以改善療效外,還可
在奈米藥物顆粒中摻入磁性物質後包在生物大分子之中,再利用外加磁場
導航,將藥物精確地傳導至目標區域。此外,科學家們還設想製造奈米機
器人並與人體生物系統相結合,可使奈米機器人遊走於人體血管網路中,
疏通血栓,清除血管壁脂肪沉澱,殺死癌細胞等。在材料科學與工程領
域,科學家們正在嘗試各種技術革新或發明,以圖製造出只有數奈米或幾
十奈米大小的構件,並由它們構成具有特定功用的奈米電路。
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例如,現在已可用僅數奈米粗細的碳管製成電子儀器及計算機中必不
可少的電晶體,在僅針尖大小的空間中就可排列高達 10 萬個這種奈米電
晶體。美國英特爾(Intel)公司在 2001 年 6 月宣布採用與當今電腦晶片
中相同的物理結構和材料製成尺寸僅 20 奈米的電晶體。如果用這種電晶
體做成電腦,將能在眨眼的時間進行 10 億次運算,也就是說,在高速子
彈穿越 1 英吋距離的時間內能完成 400 萬次運算。而僅在一年之後的 2002
年 8 月,英特爾公司推出的 Pentium 4(奔騰 4)電腦晶片,在 116 平方公
釐的面積上排有 5500 萬個電晶體,時鐘速度高達前所未有的每秒鐘 28 億
次(2.8GHz)。製作這種晶片所用微影照像技術已達 130 奈米精度。而到
2005 年之後,更可預期小於 90 奈米精度的技術將大規模投入使用。屆時,
晶片速度會進一步提高,而尺寸則繼續減小。可以想像,用這種奈米技術
晶片和其他奈米元件製成的微型計算機,不僅尺寸可以小到肉眼幾不可
辨,其運行速度和效率也比現代的普通計算機提高數百萬倍,而能耗卻可
大幅降低到目前計算機能耗的幾十萬分之一。
在機械工程方面,現在已可用奈米技術製成只有數奈米大的齒輪並能
進行嚙合傳動(圖 A 是電腦模擬的用奈米碳管和苯環製成的奈米齒輪)。
有了這些基本的組成單位,便可在將來製成奈米機器人、奈米探測器、奈
米電子儀器,甚至各類微型武器,例如,可放在孩子們口袋中的航空母艦
及飛機等。這種設想雖然聽起來有些瘋狂,但隨著世界各國對奈米技術及
科學的大規模資金及人力的投入,一些幻想的實現已經不再成為疑問了。
當今許多國家紛紛行動搶占奈米技術的戰略高地。日本已把奈米技術列入
新的 5 年科技基本計畫的研發重點;德國把奈米技術上升為新世紀科研創
新的戰略領域;在美國,政府方面於 2000 年底推出的每年投資 5 億美元
的國家奈米技術計畫,更被視為一次新的工業革命的核心。實際上,2004
年美國在這方面的投資已達 8.5 億美元,而且 21 世紀奈米科技研發已在
2003 年 12 月被總統簽字成為法律,以保證從 2005 年起的 4 年中這項國家
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科技發展戰略能夠獲得足夠的資金。一時間,「奈米熱」遍及全球,新名
詞、新概念、新現象乃至新物質在世界各地不斷湧現,以奈米技術和科學
為領軍的又一次產業革命已經隆隆啟動。可以說,匪夷所思的奈米技術勢
必成為今後幾十年科技發展的先鋒。
圖A 電腦設計的由奈米碳管和苯環組成的奈米齒輪傳動模型
當然,奈米世界雖然前景誘人,但一切夢想的實現還需要腳踏實地地
從奈米技術的研發開始。奈米技術的含義很廣,可簡單地概括為製造具有
奈米尺寸的材料(尺度小於 100 奈米),並進一步將奈米材料單元組合成
微型儀器的技術。顯然,在整個奈米技術創新過程中,如果不能夠看到這
些奈米尺寸的物質,則一切設想都是空談,奈米應用也將成為紙上談兵。
著名物理學家、1965 年諾貝爾物理學獎得主費曼(Richard P. Feynman)
早在 20 世紀 50 年代就指出:「如果我們能最終發展出對我們所做的和要
做的物質進行原子水準觀察的能力,那將對解決化學和生物問題有巨大助
益。而我相信這一能力的實現是不可避免的。」可見在當前的奈米革命中
為了實現操縱奈米世界的目的,放大奈米物質並且將清晰的奈米世界呈現
在人們眼前,成為現代奈米技術發展中不可或缺的基礎環節。清晰的奈米
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世界,說起來只有七個字,但這七個字中包含了人類足足五千多年的艱苦
而漫長的突破自身視覺極限的努力。從對光的基本認知,玻璃對光的折射
而產生的放大作用,放大鏡的發明,光學顯微鏡的開發與完善,電子顯微
鏡的誕生及電子顯微術的發展,直到既可觀察原子又可移動原子的掃描隧
道顯微鏡的問世,一再體現了人類對不可知的微觀世界的不懈探索精神。
本書將對這一激動人心的歷史進程進行初步探討。全書以突破微米解析極
限的光學顯微鏡、打破奈米解析極限的電子顯微鏡,以及既可觀察又可操
縱原子的掃描隧道顯微鏡的發明及發展道路為主線,兼對物理原理、應用
範圍及其他相關的發明作簡單介紹,力圖使讀者對這部分歷史有一個較為
系統的了解。限於作者的時間、精力以及知識範圍,不可能在此涉獵到所
有相關內容,敬請讀者見諒。
書名《清晰的奈米世界》,是指顯微鏡的解析度的一種境界。不過嚴
格說來,現代顯微鏡早已更上一層樓,進入了更小的「埃」(十分之一奈
米)的解析領域。之所以仍使用「奈米」一詞,主要是因當前奈米之風正
盛,讀者對奈米的概念均有或多或少的了解,便於從書名了解本書的主
旨。
筆者在將近二十年的潛心磨練中,親眼目睹了電子顯微鏡從笨重、機
械和手動調節發展到當代的精巧電子控制和全功能化的發展過程。在由衷
地讚嘆人類智慧之偉大的同時,也對整個顯微鏡的發展歷史產生了濃厚的
興趣。在廣泛蒐集了各方面資料後,終於利用三年的業餘時間完成此書。
本書為了兼顧科學普及、科學史兩個方面,對有關科學內容的描述力
求簡明扼要,淺顯易懂,使非專業人士並具國中以上學歷者均可看懂。書
後附詳細的參考文獻和中英文重要人名對照表,便於深入閱讀。
感謝妻子蔣娟幫助謄寫稿件等的全力支持,也感謝父母多年來對作者
事業及生活方面的無比關懷;感謝出版社宋成斌編輯在本書出版過程中的
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通力合作;還要特別感謝郭可信先生對本人踏入電子顯微學領域的啟蒙、
引領和大力提攜,以及熱情地為本書作序並提出了許多寶貴的意見和建
議。最後,謹以此書告慰筆者最為尊敬和懷念的外公錢臨照先生,他在電
子顯微學和科學史方面的不懈努力的精神對我等後輩是一種永遠的激勵。
章效鋒
於美國勞倫斯‧伯克利國家實驗室
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目 錄
第 1章 往事越千年──人類視覺的延伸 1
第 2章 風景這邊獨好──突破微米極限的
光學顯微鏡 9
2.1 光學顯微鏡的發明 10
2.2 初探微觀世界 14
2.3 顯微鏡光學 22
2.4 漸入佳境的光學顯微鏡 29
2.4.1 18 至 20 世紀顯微鏡設計製造的演變 29
2.4.2 消除色差 32
2.4.3 減小球差 37
2.4.4 顯微鏡解析度與蔡司公司的崛起 39
2.5 20 世紀的顯微鏡發展 45
結語:新的期望 53
第 3章 不到長城非好漢──突破奈米極限
的電子顯微鏡 55
3.1 呼之欲出 56
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3.2 電子顯微鏡誕生 65
3.2.1 奏響序曲 66
3.2.2 橫空出世 71
3.2.3 發明權之爭 74
3.2.4 電鏡的早期發展之路 79
3.2.5 百花齊放的商業電鏡時代 87
3.3 透射電子顯微鏡的設計及工作原理 90
3.4 電子顯微鏡中的像差 101
3.5 全方位追求 106
3.6 電子顯微學派的興起 118
3.7 勇攀高峰──高解析電子顯微術的發展之路 122
3.8 屢立奇功 150
3.8.1 看不見的病毒 150
3.8.2 猜出來的位錯 159
3.8.3 不尋常的準晶 168
3.8.4 沒想到的奈米碳管 179
結語:未來會更好 187
第 4章 無限風光在險峰──可移動原子的
掃描隧道顯微鏡 191
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4.3 迫近的腳步 198
4.4 攀登的足跡 202
4.5 工作原理 214
4.6 變種的威力 220
4.7 針尖上的實驗室──SPM 家族 225
結語:拭目以待 237
總結語:眼見為憑和顯微術的終極目標 239
參考文獻 241
中英文人名對照表 255
索 引 263
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的放大鏡(magnifier)和顯微鏡(microscope)了。這些工具的核心
部分都是由具有凸起或凹陷表面的玻璃透鏡(lens)製成的。從物體
傳來的光線穿過透鏡時會改變傳播方向,稱為折射(refraction),從
而產生對被觀察物體的放大成像作用。
說起人類對光的傳播現象的最初認識,可以追溯到 3500 年前。
但對於光的本質的系統著述,中國戰國時期的墨翟當為第一人。對
此,中國著名物理學前輩錢臨照(Qinan Linzhao)先生在 1942 年對
墨子論著中的科學研究部分詳加考證,並著〈釋墨經中光學力學諸
條〉一文。墨翟出生於木工世家,是戰國百家爭鳴時期一位偉大的學
者、政治家、社會活動家和教育家,是墨家思想的創立人。墨家學派
集七十一篇論文於《墨子》一書傳留後人,經過兩千多年坎坷,現在
只 得 其 中 五 十 三 篇。其 中 的《墨 經》四 篇(《經 ‧ 上》、《經 ‧
下》、《經說‧上》、《經說‧下》)是墨子學術思想的中堅,是對
當時由實踐中獲取的科學知識的總結。其中討論的自然及社會科學問
題涉獵廣泛,包括有名學、形學、光學(optics)、力學及經濟學。
其中的光學部分共有 8 條論述。經錢臨照院士詳細解說,使我們得窺
全貌〔1〕。光學 8 條依次詳細闡明了陰影(shadow)的定義與生成、
陰影與光(light)的關係、光的直線傳播性、光的反射(reflection)
性、物影大小與光源(light source)的關係、平面鏡(mirror)成像
之物像關係、凹面鏡(concave mirror)成像之物像關係,以及凸面
鏡(convex mirror)成像之物像關係。既有對現象的觀察,又有設計
的實驗作證,前後連貫,循序漸進,已隱具現代幾何光學(geometrical
optics)之雛形。例如,一個很著名的光學實驗頗類似於現今針孔照
相盒裝置:在一個暗室的一面牆上開一小孔,另一人在暗室外對小孔
而立,在陽光照射下,會在暗室內與小孔對立的牆上呈現倒立的人
影,並由此現象得出「光之入照若射」的結論,即光線直線傳播如射
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出的箭。《墨經》中雖未能明確提出如今所知的光學反射定律而令人
稍有遺憾,但在距今約 2400 年前即對光的本質有如此獨到的鑽研與
見解,使得《墨經》堪稱為世界上最古老的光學典籍。與墨子同列春
秋戰國時代諸子百家的韓非(Han Fei)也在其《外儲說左‧上》中記
載了應算是當時世界上最早的幻燈(Slide show)光學實驗──豆莢
映畫。故事說的是周國國君重金禮聘了一位可以在豆莢內極薄的薄膜
上作畫的高手,歷時三年終於完成一幅畫。可是國君卻在豆莢薄膜上
看不到任何畫。畫家指示尋一暗室,在朝陽的一面牆上鑿一小孔,然
後把薄膜拿到小孔處迎著陽光觀看,赫然呈現五彩繽紛活龍活現的龍
蛇鳥獸和車水馬龍,博得龍顏大悅。
中國以外最早系統地談論光學的,則首推公元前 3 世紀的希臘
(Greece)數學家歐幾里得(Euclid,墨子之後一百年左右)。他著
有 Optics《光學》一書,彙集並詳論當時希臘人所知的光學知識。在
書中明確提出了光的入射角(incident angle)與反射角(reflection
angle)概念,但未涉及反射定律。歐幾里得其實最著名的著作是《幾
何原本》,當代的初等幾何學乃源於此。而光學的反射定律則是遲至
公 元 11 世 紀 由 阿 拉 伯(Arab)學 者 哈 桑(Ibn-al-Haithan,又 名
Alhazen,962-1038)在其光學著作中首次明確提出的。此時距墨子
時代又過了 1500 年左右了。反觀中國自墨子之後,廢黜百家,獨尊
儒術,使得在儒學當道的千餘年間,光學研究方面一片荒蕪。遲至
明、清兩代才陸續出現,如明朝天啟年間(1620-1627)教士湯若望
(J.A.Schall Von Bell, 1592-1666)的《遠 鏡 說》、清 朝 道 光 年 間
(1821-1850)鄭復光的《鏡鏡伶痴》及清朝咸豐年間(1850-1861)
張福喜的《光論》等光學專著。因自明朝萬歷(1572)始至末世崇禎
年間,西方基督教(Christian)傳教士開始進入中國傳教並帶給中國
豐富的西方科技知識,明末至清朝的中國光學著作是否受此影響尚待
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CHAPTER 1 5
考證。但顯然這些晚期著作大都涉足較淺,未能再有如墨子般的獨創
成就。
光除了反射性外,另一大傳播特性就是折射(refraction)性,這
在前面已提及。然而《墨經》在折射性方面未有涉及。可能的原因在
於光折射現象在日常生活中的呈現多與和玻璃相關的載體,如盛水的
器皿或充水的球體等有關。玻璃的使用雖可追溯至公元前 4500 年,
但多在埃及(Egypt)、希臘等地使用,傳至中國則是公元 3 世紀之
事,距墨子時代已是七、八百年之後了。因此墨子時代雖可借青銅鏡
(bronze mirror)等研究光的反射現象,但因鮮有透明容器可用,使
得光的折射現象未能被認知。
光的折射現象可說是大大造福於人類社會,在這方面人類受益最
大的,莫過於因光的折射而產生的放大(amplification)作用。讀者
可自己做些小實驗,例如,透過小玻璃球或盛水的玻璃杯來觀看小物
體如字體等,可以發現小物體被放大了。
人類對於光折射而產生放大作用的初級認知可推至公元前 1500
年。那時的古埃及人就已經對放大現象有了些感性認識。但是在當時
的古文明社會,無論是古埃及人、古希臘人,還是中國人都未能對折
射放大現象有進一步的認識。現存最著名的古代透鏡稱為「蘭亞德透
鏡」(Lanyard lens),它是由一個叫蘭亞德(Lanyard)的人在一個
叫尼姆羅(Nimrod)的地方發掘出來的,經鑑定,它大約於公元前
721 年至公元前 705 年製成。這是一個石製的凸透鏡(convex lens),
石材裡面有美麗花紋。在很長一段時間裡,蘭亞德透鏡被認為是已發
現的世上第一例平凸透鏡(planoconvex lens)(一面是平面,另一
面為凸面)。但後來的研究顯示,蘭亞德透鏡的凸面是由許許多多的
小平面組合而成的,並不具備放大鏡所需的光滑凸面。另外石材裡的
天生花紋也使透鏡的放大功能不佳。因此現在一般認為該透鏡原本僅
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是從某物品上脫落下來的裝飾品,而並非是用來作放大鏡用的。
關於光的折射現象的記載,最早可見於公元前 2 世紀,希臘數學
家托勒密(Claudius Ptolemy)曾描述將一根直棍的一部分插入水中,
棍體在水面內及水面外的部分看起來像是相互彎折了一個角度。他並
由此正確地估算了水的折射係數(refractive index)(關於折射係數
的概念,在第 2 章會介紹)。托勒密雖未進而揭示出光的折射定律,
但卻在歷史上首開對光折射現象的系統研究。又過了約 200 年,公元
1 世 紀 羅 馬(Rome)哲 人、西 班 牙(Spain)人 塞 尼 卡(Lucius
Annaeus Seneca,前 4-公元 65,古羅馬末代皇帝的宮廷教師)描述了
裝滿水的球體所具有的放大作用。他發現透過水球可將小字母放大到
清晰可讀的程度。其實光通過水球而折射成像與人眼視物的原理密切
相關。在公元 11 世紀左右,阿拉伯學者哈桑撰寫了一部重要的光學著
作 Opticae Thesaurus,研究了眼睛的解剖學(anatomy)構造,說明
了眼球是怎樣將所見物體成像於視網膜(retinal)上的。在同一書中,
哈桑還討論了包括光的反射定理在內的光學原理,並且意識到了透鏡
球差(spherical aberration)的存在。可見至公元 11 世紀,即距今
1000 年前,人類已充分了解了眼球作為一種天然透鏡對光的折射及對
物體成像的功能。至 1267 年,英國(England)學者培根(Roger
Bacon, 1214-1292)在他的 Opus Maius 一書中,繼哈桑之後再次談
到借助於玻璃球或水晶球(crystal ball)可將書中小字或其他微小物
體放大,並進一步闡明了放大作用乃是由於光線折射而形成的。培根
也預言了透鏡可能應用於對視力的矯正。至此,光的折射與透鏡的放
大功能的關係已被窺破。至於我們今日所熟知的光的折射定律──斯
涅爾定律(Snell's law)則是又過了 300 多年後由荷蘭(Holland)人
斯涅爾(Willebrord Snell, 1591-1626)於 1621 年所確立。由上述簡
要歷史介紹可知,從公元前 1500 年,經歷漫長的近 3000 年的探索,
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CHAPTER 1 7
年來十一項「超級」發明之首,比排第二、第三及第十一位的原子彈
(atomic bomb)、印刷術(orthography)和電腦(computer)更為
重要。需要指出的是,眼鏡雖可矯正視力,但並不能使人看到超乎人
眼分辨能力的小物體,沒見過誰戴上眼鏡就能看到細菌(bacteria)
的。所以儘管眼鏡的使用是人類利用光學知識製造工具輔助視力的第
一步,但真正將人類的視野伸展到無限風光的微觀世界的,卻是眼鏡
之後的顯微鏡(microscope)的發明。
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‧光學顯微鏡的發明
‧初探微觀世界
‧顯微鏡光學
‧漸入佳境的光學顯微鏡
‧20 世紀的顯微鏡發展
‧結語:新的期望
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10
光學顯微鏡的發明
儘管使用眼鏡的歷史始於 13 世紀末,但眼鏡卻不能稱為真正意
義上的光學儀器(optical instrument),眼鏡的作用僅在於校正視力
(eyesight)。在眼鏡發明後約 300 年時間裡,光學透鏡(optical
lens)的應用都還未進一步發展到製造光學儀器上。其中一個可能的
原因是眼鏡片是磨製出來的,尺寸大且焦距(focus)長(10 公分以
上),放 大 倍 數 僅 為 2 倍 左 右,所 以 容 易 製 作。而 顯 微 鏡 透 鏡
(microscope lens)尺寸小,焦距短(曲率〔curvature〕大),放大
倍數可大於 100 倍,當時的技術水準很難達到。然而隨著人們對於透
鏡放大作用的深入認識,用兩片或多片透鏡組合成光學儀器也就為期
不遠了。1611 年,德國(German)天文學家(astronomer)開普勒
(Johannes Kepler, 1571-1630)在一本小冊子《折光的研究》中,首
先闡述了對於光線透過透鏡成像的理論研究。但開普勒是否在此之後
自製望遠鏡(telescope)觀測天象並無記載。倒是同在 16 世紀初,
一位荷蘭(Holland)的眼鏡製造商利用多透鏡組合製成了人類發明的
第一種光學儀器──望遠鏡,使得人類的目光第一次有能力從我們身
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CHAPTER 2 11
邊的社會伸展到了遙遠的星際天空。我們熟知的義大利(Italy)科學
家伽利略(Galileo)正是於 1607 年購買了一臺望遠鏡,開啟了他對
天文學(astronomy)的研究(記於 1609 年 8 月 29 日伽利略致郎德
西「Be Vsdetto Londucci」的信中)。實際上如果將望遠鏡的光學系
統反其道而行之,即成為顯微鏡的光學系統,所以緊隨望遠鏡之後的
顯微鏡(microscope)的發明也就是水到渠成的事了。
關於顯微鏡的發明人,歷史上有多種傳說。很多文獻認為是伽利
略發明了望遠鏡和顯微鏡,這實際上並不符合事實。前面說到伽利略
在 1607 年才擁有了他的第一臺望遠鏡,而望遠鏡和顯微鏡的發明時
間 都 早 於 1607 年。也 有 許 多 人 認 為 是 荷 蘭 人 列 文 虎 克(Van
Leeuwenhoek, 1632-1723)發明了顯微鏡。列文虎克的確自製了許多
簡式顯微鏡,並用其作出了卓越的研究成果。正是列文虎克對他所稱
之為「小動物」(little animal)的微生物(microbe)所作的轟動一
時的研究,把顯微鏡從僅供上層社會把玩的玩具變成了進行自然科學
研究的有效工具。然而,在列文虎克自製顯微鏡時,更加精緻的顯微
鏡早已被用於做出一些重大的發現了。
顯微鏡發明第一人的榮譽,現在一般是給予了荷蘭(Holland)眼
鏡製造商詹森(Zacharias Jansen, 1580?-1640)。也可能是詹森的父
親製作了第一臺顯微鏡的雛形,兒子後來將之發展為成品。這類顯微
鏡 外 觀 是 一 個 直 筒 形,由 兩 個 透 鏡 組 成,一 個 是 物 鏡(objective
lens),一個是目鏡(eye piece lens),放大倍數最大可至 9 倍。詹
森家雖然發明了顯微鏡,但將之命名為顯微鏡(microscope)的卻是
一位義大利最早的科學院的成員。詹森家做了幾款裝飾得很漂亮的顯
微鏡,並將其贈送給奧地利(Austria)皇室(royal family)。從那
時起,一直到 19 世紀,顯微鏡主要是上流社會的娛樂玩具而非用於
科學研究。這與望遠鏡作為研究工具相反。這裡有一個主要原因。望
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12
遠鏡在發明後迅速在實際應用及天文研究中取得重要位置,主要是因
為望遠鏡被用來觀察已知的事物,如星球(planet)等。使用望遠鏡
不過是人類能夠看到更遠處的星球而已,並不存在難以理解的新事
物。當然哥白尼(Nicolaus Copernicus, 1473-1543)正是藉由天文研
究排除了地心論,而產生太陽是宇宙中心的觀點,這在當時的確是人
類尚未能接受並認為是離經叛道的。對於顯微鏡而言,情況就大不一
樣 了。顯 微 鏡 觀 察 的 是 極 小 的、肉 眼 難 以 分 辨 的 物 體 或 微 生 物
(microbe)。這些物質的存在及其結構對當時的人類來說是前所未
知的。所以發現這些微小物質,正確記錄這些發現及解釋所看到的為
何物,在當時很困難。尤其是在 1840 年照相技
術出現以前,藉由顯微鏡所觀察到的現象主要是
利用筆畫在紙上而記錄下來,更影響了記錄的精
確性。這些困難都阻礙了 17 世紀至 19 世紀顯
微鏡在自然科學研究中的使用,使顯微鏡的玩具
成分大於科學工具成分。
在整個 17 世紀及 18 世紀初,木材、象牙
和紙板是製造顯微鏡體的主要材料。鏡體外覆以
皮 子、羊 皮 紙 或 魚 皮 等,再 加 上 金 飾。黃 銅
(brass)也偶爾使用於部分部件。但是到 18 世
紀中葉之後,黃銅則代替了木材和紙板被普遍使
用於鏡體。黃銅外壁可精細雕出花紋,具有很好
的觀賞性。更便宜的鑄鐵的使用則始於 19 世紀
末至 20 世紀初,那時顯微鏡已完全擺脫了玩具 圖 2-1 17 世紀 80
的形象而成為不折不扣的可批量生產的科學工具 年 代的顯
微 鏡,具
了。圖 2-1 是一臺 17 世紀 80 年代英國產顯微
有很高的
鏡。所用材料為鐵梨木(lignumvitae)、紙板、 觀賞價值
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CHAPTER 2 13
飾金、製皮,觀賞性很強。
在詹森(Jansen)的雙透鏡顯微鏡發明之後幾年,也就是 17 世紀
初期,顯微鏡的光路設計由雙透鏡改為三透鏡,除了原有的目鏡和物
鏡外,增加了一個場鏡(field lens),見圖 2-2。這樣不僅增加了顯
微鏡的總體放大倍數,也使得顯微鏡可以更好地接收物體光線而不必
使用很大直徑的目鏡(目鏡的直徑越大,加工越難,且大目鏡需要觀
察者將眼睛離開目鏡一定距離而造成觀察上的不方便)。這種三透鏡
式 的 光 路 設 計 一 直 沿 用 至 今(甚 至 包 括 電 子 顯 微 鏡,electron
microscope),只是在現代顯微鏡中,上述三透鏡中的每一透鏡其實
都是一個透鏡組,以求得最佳解析度。
最終成像
初級成像
物體
眼睛 光軸
物鏡
目鏡
場鏡
圖 2-2 顯微鏡的三透鏡光路圖
上面所說的二至三個透鏡在一個直筒中,按一定間距共軸排列所
製成的顯微鏡,稱為複式顯微鏡(compound microscope)。與其相
對的是簡式顯微鏡(simple microscope)。顧名思義,簡式顯微鏡只
有一個物鏡,通常只是用一個玻璃珠作為物鏡,夾在金屬板上的一個
孔中,放大倍數可達 10 倍或更高。在顯微鏡發展史上,簡式顯微鏡
曾與複式顯微鏡並存了近 200 年時間。直到 19 世紀初期之後,複式顯
微鏡的解析度大大提高,簡式顯微鏡才因其使用上的不便而退出舞臺。
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14
初探微觀世界
自 16 世紀末發明顯微鏡至 17 世紀初,陸續有人報導了使用顯微
鏡得到的研究成果。但使用顯微鏡作為科學研究工具在當時尚屬鳳毛
麟角。原因是當時很多人認為用顯微鏡雖然能幫助諸如看清楚跳蚤
(flea)或昆蟲(insect)的腿這類趣事外,不會有什麼新的發現。然
而事實證明,正是顯微鏡的發明,開啟了人類走進微觀世界的第一扇
大門。
在顯微鏡研究史上最早的重大發現可能當首推 1660 年義大利生
理學家(physiologist)馬爾比基(Marcello Malpighi, 1628-1694)
對血液(blood)循環理論的證實。在那個年代以前,大約 1500 年的
時 間 裡,醫 學 界 都 相 信 史 上 權 威 希 臘 醫 師 蓋 侖(Claude Galien,
131-201)的觀點,即血液是在小腸(small intestine)製造,經動脈
(artery)和靜脈(vein)血管(blood vessel)流向肝臟(liver)、
心臟(heart),進而擴展至全身。那時還沒有血液循環的概念。在那
樣一個沒有顯微鏡而只靠解剖(anatomy)分析的年代,這樣一個錯
誤觀點的長期存在並不奇怪。到 1628 年,英國皇家頂級醫師哈維
(William Harvey, 1578-1657)發表了一本震驚醫學界的書 Exercitatio
Anatomica De motu Cordis et Sangiunis in Animalibus(英文可譯為
Exercised Anatomy The Movement of Heart and Blood in Animals,
《動物心臟和血液運動的實驗解剖學》)。這本十七章的書一舉推翻
了蓋侖的理論,認為血液實際上是從心臟開始經過全身循環後又回到
心臟。儘管哈維的尊崇地位以及他精確的理論及邏輯證明使當時的醫
學界沒有對這一新理論強烈反對,但是要想徹底說服別人,新的理論
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CHAPTER 2 15
需要的是證據。要想完全解釋血液循環,得假設動脈和靜脈血管之間
存在某種連通渠道。而在當時尚無人用肉眼發現過這種渠道。
就在哈維去世後三年的 1660 年,這種設想中的連通渠道被馬爾
比基證實了。他用顯微鏡觀察到了接通動脈與靜脈血管的極微細的血
管,即毛細血管(capillary)。馬爾比基的驚人發現開啟了自那以後
200 年之久的對活魚尾部血液循環的顯微鏡研究。除此之外,馬爾比
基還用顯微鏡研究了大腦、肝、腎、脾、骨、皮膚。皮膚的層狀結構
(malpighian)就是以他的名字命名的。馬爾比基也首次發現紅血球
(red blood cell)並確認血液的紅顏色就是紅血球引起的。他也對蠶
蛹(silk worm pupa)的發育以及植物的結構進行過研究。馬爾比基
當然因這些成就被認為是最早的偉大顯微學家之一,他的顯微學研究
是 動 物 生 理 學 史 上 的 重 要 里 程 碑。他 也 被 譽 為 是 胚 胎 學
(embryology)及早期發育學(development)之父。
上面提到馬爾比基對於毛細血管的發現,揭開了其後 200 年時間
裡用顯微鏡研究活魚尾部血液循環的熱潮。而這一研究得以進行,得
利於新型的側立柱複式顯微鏡設計。這裡就必須提到在顯微鏡發展初
期的另一位英國科學家虎克(Robert Hooke, 1635-1703)(圖 2-3)。
虎 克 畢 業 於 英 國 牛 津 大 學(Oxford
University),在他近 40 年的研究生涯
中,作出過為數眾多的發明,是一位機械
方面的天才。年輕時曾參與發明著名的
「空氣泵」,也就是現在所說的「真空
泵」。而學習過初級物理學的人所熟知的
關於彈簧(Spring)所受拉力與伸展量成
正比的虎克定律(Hooke’s law),就是
他在 1678 年發現的。虎克在顯微學上的 圖 2-3 虎克(1635-1703)
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16
是以顯微鏡所立平臺為樣
顯微鏡
品臺,顯微鏡的支架限制
了鏡頭下的空間,使得顯
微鏡底部沒有足夠的空間
樣品臺
放置較大樣品。而虎克的
設計增加了一個側立柱, 圖 2-4 17 世紀晚期,虎克設計的懸固於
一個側立柱上的顯微鏡,可用來研
顯微鏡筒懸固在側立柱 究尺寸較大的活的生物樣品
上,從而使顯微鏡下方有
很大的自由空間放置樣品。圖 2-4 為虎克設計的、由倫敦(London)
顯微鏡製造商庫克(Christopher Cock)製造的懸固在一個側立柱上
的顯微鏡。鏡筒下方有足夠的空間可懸掛一個托盤,可將活魚固定其
中用來研究魚尾部的血液循環。照明系統則由一盞油燈和一個水瓶組
成,可在樣品上得到較明亮均勻的光照。虎克的其他貢獻還包括幫助
顯微鏡製造商將顯微鏡商品化等。
雖然虎克在光學及重力方面的研究被同時期的英國大科學家牛頓
(Newton)搶了風頭(牛頓在其〈談論顏色〉(Discourse on Color,
1675)一文中也承認虎克在光學方面的貢獻),但他在科學儀器發明
及設計方面卻在當時獨占鰲頭。虎克的專著使得顯微鏡大大地被普
及,除了因為這些革命性的新設計外,更主要的是專著中還描述了大
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CHAPTER 2 17
量的利用顯微鏡而取得的研究成果。最著名的工作是他對軟木(cork)
(用於酒瓶塞等)的微觀結構的研究。為了弄清為何軟木具有極其特
別的特徵,如很輕、結實,但卻能被擠壓縮,虎克進行了細緻的顯微
鏡研究後發現,原來軟木具有一種網狀的結構,內含許許多多微小的
充氣孔,因此在軟木中含有大量的空氣,使軟木輕且可被壓縮(圖
2-5 )。為了精確描述這種結構,虎克發明「cell」一詞,此詞後來
被生物學採用描述細胞(cell)並沿用至今,成為虎克最著名的發明
之一。虎克在顯微學研究上另一著名工作是他繪制的跳蚤(flea)圖
像,見圖 2-5 ,當真是細緻入微。觀察之仔細,手繪之精美,不知
耗費多少精力,令人嘆為觀止。
圖 2-5 虎克根據他的顯微觀察繪制的軟木網狀的結構圖
虎克根據他的顯微觀察繪制的跳蚤圖
虎克在他利用顯微鏡所作的研究工作中,一直是使用複式顯微鏡
而從未使用過當時也頗流行的簡式顯微鏡。他在 1679 年的一次題為
「Microscopium」(顯微學)的講座中解釋了他的理由:「我發現使
用它(簡式顯微鏡)對眼睛傷害很大,損害視力。這就是我一直不使
用簡式顯微鏡的原因。儘管它的確具有與複式顯微鏡相仿的放大功
能,並且能提供比複式顯微鏡更清晰可辨的成像。如果觀察者的眼睛
受得了的話,用簡式顯微鏡能做出比複式顯微鏡更好的發現。因為比
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18
起複式顯微鏡,簡式顯微鏡的色差小。」這段話裡點出了一個重要的
事實,即在虎克所處的 17 世紀末,多透鏡的複式顯微鏡在成像上並
不比單透鏡的簡式顯微鏡好,甚至更差。虎克也提到了原因,是透鏡
色差(chromatic aberration)在作怪。事實上,透鏡的色差與球差
(spherical aberration)是歷史上阻礙顯微鏡發展的兩大障礙。顯微
鏡的發展史的一個重要部分,就是克服色差與球差,這一點我們將在
下一節介紹。虎克這段話還提到了用簡式顯微鏡可以做出很好的發
現,他的話是有所指的,指的就是同時期的荷蘭人列文虎克自 1673 年
開始的一系列使用簡式顯微鏡所做出的非比尋常的發現。
列文虎克(圖 2-6)出生於荷
蘭(Holland)代爾夫特(Delft)的
一個商人之家。他沒有受過正規的
高等科學教育,長大後自己經營布
料生意。他於 1668 年去英國倫敦,
有機會讀到虎克的 Micrographia 一
書,遂對顯微鏡產生了興趣。但直
到他 40 歲時,才開始加入顯微研究
圖 2-6 列文虎克(1632-1723)
領域。他使用自己製造的簡式顯微
鏡進行微觀研究,首先研究兔子耳朵及青蛙(frog)腿部的血管脈絡
並肯定了義大利人馬爾比基的血液循環理論。在他的觀察過程中,他
總是將樣品固定在顯微鏡上,一天之內,每隔一段時間觀察一遍。一
星期後,再觀察有何變化,一個月後再觀察。因為要觀察樣品持續的
變化,所以每個樣品一旦固定在顯微鏡上之後,就不再取下,為此要
再製造一個新顯微鏡用來研究新樣品。所以他一生中製造顯微鏡無
數,在研究上也取得了驚人的成就。從 1673 年開始,他在英國皇家
學會(Royal Society)的《哲學會報》(Philosophical Transactions)
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CHAPTER 2 19
圖 2-7 列文虎克用顯微鏡觀察到的一種綠色海藻的結構,每一根綠色
條帶都是由綠色小球組成,綠色條帶的周長與人類髮絲的周長
相仿
列文虎克用顯微鏡觀察到的游動的兔子的精子
透鏡
樣品臺
圖 2-8 列文虎克製造的簡式顯微鏡(左圖),只有普通的鑰匙大小
講座中所說的那樣。然而令人驚訝的是,列文虎克憑著自製的透鏡,
以及他的實驗技術和耐心,取得了當時職業科學家所未能達到的成
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索 引 263
索 引
43 agricuiture 農業 45
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264
arc discharge 電弧放電 183, 186 atomic level 原子水準 123, 199
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索 引 265
152 172
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266
binoscope 雙目鏡 30 83
大分子結構 189 72
156 名) 178
blue 24 74
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索 引 267
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268
耦合元件 144 學 53
189 名) 185
124 16
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索 引 269
comet 彗星 48 104
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270
crevice 裂紋 160 57
124, 131, 136, 138, 244, 245 dark field image 暗場像 138-139
138 47
名) 60 dark image 暗影 99
crown 冠冕 34 132
64 名) 67-68, 241
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索 引 271
digital aberration reducing 數位消 duality 二相性 56, 67, 103, 196
像差法 144 Duncumb (Peter) 鄧卡姆(人名)
digital processing 數位處理 143 116
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272
59 137
194 學 100
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索 引 273
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274
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索 引 275
114 117
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276
102
G
glass bead 玻璃珠 21
2, 11 Gloucestershive 格羅特斯郡
gene 基因 158 名) 60
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索 引 277
114 名) 60
名) 4 名) 43
34 Helmholtz 赫 姆 霍 茲(人 名)
Hamilton 漢密爾頓(人名) 69 62
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278
in-sita 原位 188
I
Institute of Technology, Berlin 柏
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索 引 279
ionization 電離 59 198
125
K
J
Kahl (F.) 卡爾(人名) 103
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280
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索 引 281
Liang 梁伯先(人名) 53 名) 11
light 光 3 163
liver 肝臟 14
M
living cell 活細胞 226, 228
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282
magmo 岩漿 47 78, 86
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索 引 283
medicine 醫學 45 110
metallurgy 冶金學,冶金 45, 82, 34, 47, 56, 65, 67, 77-79, 82, 87,
都會-威格士電機(公司) 晶體學 65
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284
168
N
mineral 礦物 175
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索 引 285
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286
organ 器官 64
O
organic molecule 有機分子 175
229
P
optical grating 光柵 64
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索 引 287
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288
photon 光子 113 60
209 162
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索 引 289
86 195
precision 精度 216
Q
Preuische Akademie der Wissen-
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290
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國家圖書館出版品預行編目資料
清晰的奈米世界:初探電子顯微鏡/章效鋒
編著.
─ 初版. ─ 臺北市:五南, 2006[民 95]
面; 公分
參考書目
含索引
I S B N 978-957-11-4439-9(平裝)
I S B N 957-11-4439-8(平裝) 5E40
1.顯微鏡 2.電子顯微鏡 3.奈米技術
336.2 95014465
清晰的奈米世界
—初探電子顯微鏡
The Explicit Nanoworld
編 著 - 章效鋒
校 訂 - 張勁燕
發 行 人 - 楊榮川
總 編 輯 - 王秀珍
主 編 - 穆文娟
責任編輯 - 陳玉卿
文字編輯 - 李敏華
封面設計 - 莫美龍
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