科學園區用水缺水管理與規劃

報告人 林文雄

97.03.03
 龍潭 192 公頃

新竹園區
新竹605公頃
銅鑼約350公頃 篤行營區26公頃
(準備開發) 91/4供廠商建廠

銅鑼基地
竹南159公頃(建設中)

竹南基地
中部園區約402公頃
台中縣市界及虎尾 宜蘭城南三星五結基地
二期台中基地及后 500公頃(規劃中)
中部園區
里擴建400公頃

台南638公頃(86/7營運) 台南園區
二期400公頃(91/9供廠
商建廠) 路竹基地
路竹571公頃
90年10月供廠商建廠

2
竹科計劃概述
〈一〉新竹科學工業園區
民國 69 年設立
民國 76 年起快速成長
預估民國 93 年營業額可突破新台幣一兆元
〈二〉開發面積
總面積— 630 公頃
一、二期 380 公頃
三期 248 公頃〈含篤行營區〉，預定 94 年完成
〈三〉發展概況
積體電路、光電、生物技術等六大產業
入區家數 386 家 從業人員約
十萬人

3
 新竹科學園區逐年平均日供需水量推估時程
水量單位： CMD
年度用水量 87 年 88 年 89 年 90 年 91 年 92 年 93 年 滿載
期
別
園區一二期 50,000 52,000 55,000 57,100 59,300 60,500 74,800 74,800

園區三期 30,000 40,000 51,000 63,900 75,700 84,500 85,200 98,200

合計 80,000 92,000 106,000 121,000 135,000 145,000 160,000 173,000

供水單位 臺灣省自來水公司
供水來源 1. 民國 85 年前由寶山水庫供水
2. 民國 86 年增加永和山水庫支援
3. 民國 90 年增加隆恩圳欄河堰
4. 民國 91 年平鎮淨水場送水支援
5. 民國 94 年預定增加寶山第二水庫
5
 水 (萬量 / 噸 ) 日 新 竹 科 學 園 區 供 需 水 量 分 析 圖
19 楊 梅 專2萬 管 噸 寶增 二加 水 庫 完 成
18
17 第 二 淨 水 4. 5萬廠 噸專 管 增 加
16 1 7 .3
15
14 永 和 山 專2 管 再 支 援 萬 噸 1 5 1 5 .7
13 14
13 1 2 .6
12 1 2 . 1 1 . 9
永 和 山 4 專萬. 5 管噸 支 援 1 1 .4
11
10 1 1 .3
9
9 寶 一 水4. 5萬庫 噸供 應
8 6 .7 7 .2
7 6
6 7
5 3 .5 4 4 .5
4 5 .8
5 .6
3
2 2 .3 3 3 .7
1 計 畫 供 水預 量估 需 水實 量際 供 水 量
0
83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 年 度
6
 新竹科學園區水源供需示意圖
( 10 萬）
翡翠水庫
( 楊梅 -- 平鎮 ) 隆恩 單位：噸 / 日
堰
北水南運 ( 第二淨水
10-20 萬
4-6 萬 6 萬廠 )

新竹縣 目前需水 12.5 萬噸

廠園
商區 新竹市 /日
蓄蓄 未來需水 17.5 萬噸
水水 /日
能能 4萬 5-10 萬
5萬
力力
：： 7-10 萬
寶山水庫
40
20

永和山水庫
供水現況
萬萬 寶山二水庫 未來供水
噸噸 ( 10 萬）
( 10 萬） 供水能力 (7 )
 %
120

100 生活用水
5
%
80 空氣洗滌即動力
雜用 5
60
空調用水 40
40 20-30
製程用水
20 50
60-70
0
夏季 冬季

園區用水途百分比例表 %
9
 園區因應乾旱及
水源供應不足可能衍生之問題
限水比 因應對策 影 響 備 註
例
5% 生活用水不便
. 通知各廠內廣播 . 載水源地尋找不易，
第一階段
節約用水 車輛運輸不易
限水
10% . 減少非必要用水 增加載水費用，部 .IC 製程特性，因生產
. 開始載水 份機台無法參與運 時間循環時間較長，一
轉 般約 40-60 天，故部份
. 停止部份機台設 再製品之無塵室、空調
15% 備 1/4 以上需用
停止 約 1/3 機台直接或 及消防用水必須維持供
第二階段 水之機台設備 間接受影響停產 應
限水
. 完全停產之影響
20% 停止一半以上需用 生產損失一半
第三階段 水之機台設備
停工生產損失
限水
50% 僅供應空調、消防 完全停產 經濟發展
及必要設備之用水
 
創造外匯
10
國際市場競爭力
水量不足之風險

缺水 1 小時產業損失
IC LCD
直接 2003 年 54 億 25 億
損失 2006 年 132 億 108 億
間接損失 設備與供水系統損失無法估
計
供水量不足產業潛在風險
•訂單損失
•恐慌性股票下跌
•建廠投資意願降低
• 以投資 15~20 億建 12 吋晶圓廠為例，於
建廠時僅可獲得 6000 CMD 的許可供水
量。
因台灣電子產業已形成完整之供
應鏈體系，所以缺水影響更會擴
及上下游產業之產值 。
科學園區工業用水循環回收再利用之對策

本局按各廠商建廠時程之不同，協助其達到下
列標準：
1.八十三年以前興建之廠房，製程回收率需大於百分
之五十，全廠回收率需大於百分之三十，排放率需小
於百分之八十。
2.八十三年至八十八年興建者，製程回收率需大於百
分之七十，全廠回收率需大於百分之五十，排放率需
小於百分之八十。
3.八十八年以後興建者，製程回收率需大於百分之八
十五，全廠回收率需大於百分之六十，排放率需小於
百分之七十。但需辦理環評之廠商，依環評審定之承
諾事項辦理。

13
科學園區工業用水循環回收再利用之對策

純水製造系統回收策略：

1.活性碳(ACF)、砂濾塔(MMF)反洗廢水回收
2.離子交換與混床樹脂的再生廢水回收
3.EDI循環廢水及電極廢水回收
4.超純水系統之逆滲透膜(RO)濃縮排放水回收
5.超純水系統之超過濾膜(UF)濃縮排放水回收
6.純水系統線上(on-line)分析儀器採樣水回收
7.真空pump水封水回收

14
科學園區工業用水循環回收再利用之對策

製程排放水回收策略：
1.製程清洗水回收
2.一般酸、鹼性廢水回收
3.低濃度氫氟酸(HF)廢水回收
4.CMP廢水回收
5.設備排氣洗滌塔(Local Scrubber)排
水

15
科學園區工業用水循環 回收再利用之對策

空調用水 回收策略：
1.外氣空調 箱冷凝 水(OAC)回收
2.MAU清洗水回收
3.冷卻水塔排水(Cooling tower blow
down)回收
中央洗滌塔(Central Scrubber) 排水回
收

16
科學園區工業用水循環回收再利用之對策

民生(公共)用水回收策略：
1.飲用水機RO裝置之濃縮水回收
2.沖廁用水可採用製程次級回收水及冷卻水塔
排放水來供給。
3.景觀澆灌系統可採用較劣質製程回收水(目
前環保法規未通過事業廢水用於澆灌用水)及
外氣空調機冷凝水供給。
4.更換省水器材，加強全體員工節約用水的觀
念。
5.雨水? 存回收

17
 科學園區工業用水循環回收再利用之做法

為促進廠商善用水資源，輔導並追蹤各廠商之水
資源利用及回收狀況，有效降低缺水之風險及用水
成長幅度，91.06.04特訂定「科學工業園區節約用
水輔導計畫執行要點」。
91.04.29成立節約用水指導委員會，由專家學者
及工研院節水團等組成，積極推動相關替代水源及
回收設施等節約用水措施。
透過實廠訪問建立良好互動關係，與工廠實際用
水管理人員共同討論節水方案及落實計劃推動可行
性，以達到節水減廢及高效率用水目標。

18
 科學園區工業用水循環 回收 再利用之 做法

利用系統 分流技術、 降低蒸 發量及 漏水之技術、

強化 預處理方向思考以 增加 回收 空間 。
製程分 流回收閥值 之設定， 如:導電度、 TOC …
等，需 考慮回收 設備之 處理能力、 回收 水之 使用
點水質與水量之需 求、回收 設備 裝設空間 是否受
到限制等因 素進 行考量。
科管 局本 年度園區 進行十五家工廠節水 輔導 工
作，未來 仍將依 二 ○ ○ 八【 2003 -2008 】國發計
畫-推動節約用水 措施 計畫之要 求-科學園區應 編
列預算辦 理節水 輔導並達 節約 17百萬噸之預期成
果，持續進 行園區工廠節水 輔導 工作。

19