2012.11.30.

NANO

MIKRO- S NANOTECHNIKA II:

NANOTECHNOLGIA
Dr. Pdr Blint
budai Egyetem KVK Mikroelektronikai s Technolgia Intzet

1. A NANOTECHNOLGIA ALAPJAI, BEVEZET

2012/2013 1. flv
Nem-szerkesztett (ideiglenes) vltozat!

1. ELADS:
A NANOTECHNOLGIA ALAPJAI, BEVEZET
A Mikro- s nanotechnika II c. trgy megksrli ttekinteni a nanotechnika
(nanotechnolgia, nanotudomny) alapjait, fbb alkalmazsait, s a
vrhat fejldsi irnyokat.
Az eladsok tematikjnak kivlasztsa meglehetsen szubjektv, ersen
ktdik az elad sajt tapasztalataira, melyek fleg a flvezetk
technolgija s tulajdonsgai, mikroelektronika, s az ehhez kapcsold
szilrdtestfizika s anyagtudomny terletre esnek, intzmnyileg pedig
az MTA Mszaki Fizikai s Anyagtudomnyi Kutat Intzethez.
www. mfa.kfki.hu/int/nano
www.nanotechnology.hu/

Az eladssorozat anyagainak egy rsze mg nem-megszerkesztett

vltozat, az angolnyelv forrsokbl tvett anyagok nagy rsze nincs
lefordtva.
2

2012.11.30.

KTELEZ IRODALOM:
Mojzes Imre, Molnr Lszl Miln: Nanotechnolgia, Megyetemi Kiad,
2007.
Brsony Istvn: Mikrogpszeti eljrsokkal a nanotechnolgia fel,
Magyar Tudomny, 48. kt. 2003/9, 1083 old.
Knya Zoltn, B. Nagy Jnos, Kiricsi Imre, Szn nanocsvek ellltsa s
alkalmazsai, Magyar Tudomny, 48. kt. 2003/9. szm, 1114 old.
Bir Lszl Pter: Nanovilg: a szn nanocstl a kk lepkeszrnyig,
Fizikai Szemle 2003 (11) 585. old.
Kos Antal Adolf: Szn nanocsveken alapul szelektv gzrzkelk,
Fizikai Szemle 2006 (7) 226. old.
Krti Jen: Szn nanocsvek, Fizikai Szemle 2007 (3) 106. old.
Pozsgai Imre: Atomer-mikroszkp a Marson, Fizikai Szemle 2009 (1) 3.
old.
Letlthetk a Magyar Tudomny, illetve a Fizikai Szemle honlapjrl!
Az eladsok sok, a ktelez irodalombl tvett anyagot tartalmaznak!

AJNLOTT IRODALOM
Magyar Tudomny 2003 (9) Nanotechnolgia tematikai szm, szerk.
Gyulai Jzsef.
Letlthet (!) cikkenknt: www.matud.iif.hu/03/sze
Az eladsokhot kapcsold cikkek:
Brsony Istvn: Mikrogpszeti eljrsokkal a nanotechnolgia fel,
1083-1089 old.
Knya Zoltn s mtsai: Szn nanocsvek s alkalmazsaik, 1114-1121
old.
Br Lszl Pter: jszer szn nanocs architektrk, 1122-1129 old.
Beke Dezs s mtsai: Diffzi nanoskln, 1130-1137 old.
Klmn Erika s mtsai: Nanoszerkezet bevonatok, 1154-1165 old.
Vmosi Gyrgy s mtsai: Nanotechnolgia a biolgiban, 1166-1173 old.

2012.11.30.

NANOTUDOMNY S NANOTECHNOLGIA
Mi a nanotudomny/nanotechnolgia?
Igen kismret, nagyjbl 1 nm s 100 nm kztti mret
objektumok, az ezen a skln vgben jelensgek s
folyamatok vizsglata, feltrsa, az objektumok s
szerkezetek ellltsa s alkalmazsa.
Rohamosan fejld, interdisziplinris
terlet, mely tbbek kztt magban
foglal
fizikt
kmit
NANO
biolgit
technolgit
anyagtudomnyt
elektronikt, stb.

MIKROTECHNOLGIA
Az elmlt 50 vben az elkpeszt miniatrizls az elmlt vekben
kifejlesztett s iparilag alkalmazott mikrotechnolginak ksznhet. A
mikrotechnolgia ma li virgkort, s az elektronika, azon bell az
informatika dbbenetes fejldst hozta magval. Ltt mikroszkpnak
ksznheti, s legfontosabb gyrtsi eszkze, mely egyben az ellltott
eszkzk legkisebb karakterisztikus mrett meghatrozza, a
fotolitogrfis eljrs, amikor is vkony rtegeken, els-sorban
flvezetkn, azon bell is a szilcium egykristly felletn az eszkzk
alapjul szolgl struktrkat alaktanak ki lnyegben a fnykpezs
segtsgvel. Nhny ngyzetmillimter felleten tranzisztorok ezreit,
st milliit lehet ily mdon felpteni. A dnt szempont, hogy ezen
sszetett rendszerek tmeggyrtsban kszlnek, olcsk s rendkvl
megbzhatan mkdnek.

2012.11.30.

TECHNOLGIAI MRETSKLK
mm-es technolgia:

militechnolgia

m-es technolgia:

mikrotechnolgia

nm-es technolgia:

nanotechnolgia

ltalnosan elfogadott hatr a mikro- s nanotechnolgia kztt:

jellemz mret 0,1 m (100 nm)

A flvezet (IC) technolgia (tmeggyrts!) mr 2003ban tlpte ezt a kszbt.

A NANOVILG FEL

2012.11.30.

MM-ES TECHNOLGIA,
FINOMMECHANIKA
Kb. 500-600 vvel ezeltt lte vilgkort a finommechanika,
mely a maga korban a cscstechnolgit jelentette. Az
rsmesterek, tvsk csipeszek, s nagytk segtsgvel
lltottak el, a kor cscstechnolgijt jelent
szerkezeteket; pl.: rkat, zenl-mozg szerkezeteket,
programvezrelt robotokat. Az ellltott termkek
rdekessgei, hogy egyediek, kzi gyrtmnyak, s a
gyrt mester kzgyessgn mlott a pontossga,
megbzhatsga, mivel komoly megmunkl gpekkel nem
rendelkeztek ekkor mg. A finommechanika a
millitechnolgia korszaka volt. A fennmaradt eszkzk
precizitsa a mai szemmel is bmulatos megoldsokat, s
megmunklsokat hordoz.
9

MIKROTECHNOLGIA S
MIKROELEKTRONIKA
A vilg technikai
forradalmnak kulcseleme:
a szmtstechnikban
cscsosod
mikroelektronika,
annak a miniatrizcija
hzta az sszes ipart

Moore szably

10

2012.11.30.

MOORE SZABLY

G. Moore (Fairchild/Intel) 1960-as vekben fogalmazta meg

de mg 2010-ben is mkdik (!):
Jellemz mretek 1,8-2 vente felezdnek
11

MOORES LAW

2012.11.30.

MOORE SZABLY (MOORES LAW)

Logic technology node and transistor gate length versus calendar year.
Note mainstream Si technology is nanotechnology.

CMOS: NANOTRANZISZTOR ?

A tegnapi (tegnapeltti ?) cscs az INTELNL.

14

2012.11.30.

GORDON MOORE SZABLY:

JSLAT (DE BEKVETKEZETT)
v
flmodul
(nm)

2001
150
130

2005
100
80

2007
80
65

2010
55
45

2016
22

Feds
pontossg
(nm)

50

35

25

20

15

46

28

23

18

Toxid

1.6

1-1.5

0.8

0.5

1.4

1.0

0.8

0.6

0.4

egyenrtk
(nm)

agresszven rvnyesl:
1999, ill. 2001 http://public.itrs.net/ alapjn

15

NANOTECHNOLGIA
A nhnyszor tz nanomter nagysg fm s flvezet
nanorszecskket a kmikusok s a fizikusok mr kzel szz ve
tanulmnyozzk.
Mivel az atomok tmrje tized nanomter, a molekulk pedig
nanomter nagysgrend, gy a kmia mindig is nanokmia volt, az atoms molekula-fizikt illetve a mezoszkopikus fizikt pedig nanofiziknak is
nevezhetnnk.
A kzelmltig csak nanorszecske sokasgot s azt is csak statisztikai
mdszerekkel lehetett ksrlet trgyv tenni.

16

2012.11.30.

NANOTECHNOLGIA
Nanos grgl trpt jelent. Egy nanomter a mter egymillirdnyi (10-9ed) rsze.
A nhnyszor tz nanomter nagysg fm s flvezet
nanorszecskket a kmikusok s a fizikusok mr kzel szz ve
tanulmnyozzk. Mivel az atomok tmrje tized nanomter, a
molekulk pedig nanomter nagysgrend, gy a kmia mindig is
nanokmia volt, az atom- s molekula-fizikt illetve a mezoszkopikus
fizikt pedig nanofiziknak is nevezhetnnk.
A kzelmltig csak nanorszecske sokasgot s azt is csak statisztikai
mdszerekkel lehetett ksrlet trgyv tenni.

17

NANO
Nanos grgl trpt jelent.
Egy nanomter a mter egymillirdnyi (10-9-ed) rsze.

18

2012.11.30.

NANOTECHNOLGIA S TUDOMNY
A "nanotechnolgia", helyesebben a "nanotudomny" terletn ma mg
a legfejlettebb trsadalmakban is elssorban az alapeszkzk
ellltsa, a megfelel szimulcis, manipulcis, preparcis s
analitikai/mrsi mdszerek kutatsa s fejlesztse van napirenden. Az
atomi pontossg gyrts megvalstshoz ugyanis szksg van
molekulaszint manipulcira s szintzisre, valamit a mikro- s
millimter skln mkd technolgik sszekapcsolsra, hogy teljes
egszben lefedhet legyen a nm-tl mm-ig terjed mrettartomny. A
majdan ellltott nanoszerkezetek kapcsolatt a makrovilggal ugyanis
tbbszrs tttelen keresztl, mikro- s millimter mret eszkzk
kzbeiktatsval lehet csupn elkpzelni, ezrt a problmt sszetett
mdon, rendszerszinten kell kezelni.

19

NANOTECHNOLGIA S TUDOMNY
A termkek miniatrizlsnak trendje teht (legalbbis kezdetben)
korntsem azt jelenti, hogy valamennyi funkcit, amit eddig
mikromretben valstottunk meg, ezutn nanoskln prbljuk
megvalstani s ezltal gyorsabb, olcsbb tenni. Ellenkezleg, az
nszervezds, a masszv prhuzamos rendszerek belpsvel a
bottom-up szintzis a "tradicionlis" top-down technolgival, azaz
destruktv mdszerekkel gyrtott eszkzkben teremt lehetsget j
funkcik beillesztsre. A nanomret gyrtstechnolgik teht
elssorban a testre szabsi kvetelmnyek kielgtsnek eszkzei
lesznek az informci-technolgiban, az orvostudomnyban s a
gygyszatban, a repls- s rkutats, a gpkocsiipar, a krnyezet- s
energiaipar terletn hasznlt MEMS eszkzkben.

20

10

2012.11.30.

NANOMRETES ESZKZK
NANOTECHNOLGIA
Utazs a trpk birodalmba (nanos = trpe)
nanomter = 10-9 m = 10 Angstrm
Minden olyan eszkz, amelynek jellemz hossza a nm tartomnyba
esik.
Egy millimteren ezer darab egy mikron vastagsg szl helyezhet el.
Egy tlagos hajszlat krlbell 50 darab, egymikronos tmrj rszre
lehetne hastani.
A betegsgeink jelents hnyadt elidz baktriumok jellemz
mretei az 1-10 mikronos tartomnyba esnek. Ezt a mretet azrt
rdemes megjegyezni, mert a baktriumok tbb-kevsb "szabadon"
kzlekednek az llnyek testben. Ez az llts fokozottan igaz a
mikronnl kisebb objektumokra, az gynevezett nanoobjektumokra.
Egy nanomter ezerszer kisebb, mint a mikron, azaz egy baktrium
1000-10 000 egy nanomteres szeletre szeletelhet.

NANOMRETES ESZKZK
NANOTECHNOLGIA
Nanotechnology - sszefoglalan a nm-es eszkzkkel foglalkoz
tudomnygak angol elnevezse
(benne van az elmlet, elllts, alkalmazs is).

Nanotechnolgia - magyar terminolgia, nm-es eszkz ellltsi

technolgija
Nanotechnolgia: olyan eljrsok sszessge, amelyek
segtsgvel nanomteres (10-9 m) mret objektumokat
lehet ltrehozni, vgtermkeik jellemz mretei az 1-100 nm
tartomnyban vannak.

11

2012.11.30.

MRETARNYOK

23

MRETARNYOK

Mgegyszer a mretskla.

24

12

2012.11.30.

MRETARNYOK:
AZ EMBERTL A NANOMTERIG

25

NANOTECHNOLGIA: DEFINIC
Nanotechnology is engineering of matter on the sub-100 nm scale, with
the result of new components with novel properties.

j tulajdonsg:

Nanomret objektumok tulajdonsgai msok mint ugyanazon anyag

nagyobb mret rszecski.

26

13

2012.11.30.

AZ ARANY MINDIG ARANY?

Cutting down a cube of gold
If you have a cube of pure
gold and cut it, what color
would the pieces be?
Now you cut those pieces.
What color will each of the
pieces be?
If you keep doing this cutting each block in half will the pieces of gold always
look gold?
27

NANOARANY
Az arany nm-es mretre darabolva
mr nem aranyszn, hanem
VRS!
St a mretettl fggen vrs,
kk, srga, s ms sznnek is 12 nm-es aranyrszecskk
ltszanak.
vrsnek ltszanak
Ms mreteknl a sznk is ms
Oka: klnbz vastagsg anyagrszecskk mskp nyelik el, illetve
verik vissza a fnyt.
28

14

2012.11.30.

NANOTECHNOLGIA KEZDETEI
Az 1980-as s 1990-es vekben a nanokmia s nanofizika
megkezdhette az egyedi nanorszecskk s egyedi molekulk
vilgnak birtokba vtelt, mivel jfajta mikroszkpok s eljrsok
egsz sora jelent meg. A psztz alagtmikroszkpok (Scanning
Tunneling Microscope -STM) s az atomer mikroszkpok (Atomic
Force Microscope - AFM) mr nem csak bepillantst engednek ebbe a
vilgba, hanem kialakulban vannak eljrsok az anyag nanomteres
finomsg megmunklsra is. vrl vre j mrsi eljrsok s
mszerek, valamint j megmunklgpek szletnek, j
nanotechnolgiai laboratriumok plnek.

29

A NANOTECHNOLGIA SZLETSE
A nanotechnolgia szletse kapcsn szoks Richard P. Feynman hres,
1959-es eladst idzni: There's Plenty of Room at the Bottom, An
Invitation to Enter a New Field of Physics (Bven van hely lefel.
Kedvcsinl a fizika j terletnek feltrsra) . Kivteles elreltsra,
vzira vall, hogy mg az integrlt ramkrk megjelense eltt, immr b
negyven ve megnevezte a mretek cskkentsnek, azaz az
integrcinak f hajterejt: "Az informci nem terjedhet a
fnysebessgnl gyorsabban, gy ahhoz, hogy szmtgpeink egyre
gyorsabban s preczebben mkdhessenek, egyre kisebb mretekk
kell vlniuk.

30

15

2012.11.30.

A NANOTECHNOLGIA SZLETSE
Megllaptotta, hogy atomonknti ptkezssel, elkpzelt minta szerinti
elrendezsben (a kmiai stabilitssal sszhangban) jobban
befolysolhatk az anyagtulajdonsgok. A tmeggyrts abszolt
mretazonossggal (rtsd "nanotechnolgia"!) azonban csak szzatomos
mretben relis. Rmutatott, hogy a cskken mretekkel nem minden
paramter vltozik egyenes arnyban, ezrt merben j problmk is
addnak (pldul a van der Waals-erk miatti sszetapads). Atomi szint
ptkezssel viszont a kmiai s vgl a biolgiai szintzis is megoldhat.
Ha a biolgiai jelensgek analgijra ismtld mdon hasznljuk a
kmiai erket (nszervezds), merben j eredmnyek (rtsd "genetikaanalg") rhetk el.

31

A NANOTECHNOLGIA SZLETSE
Eszerint a nanomretek tartomnyban, az anyagszintzisen alapul
bottom-up ptkezs esetben, ma mg aligha beszlhetnk a sz szoros
rtelmben vett ipari szint reprodukcirl, azaz "technolgirl". Br a
mikroelektronika kritikus mretei ma mr a nanotartomnyba (<100 nm)
esnek, az IC-technolgia a rteges ptkezst keveri a top-down, azaz
lebont, destruktv ptkezs elvvel.

32

16

2012.11.30.

33

A NANOTECHNOLGIA
1959 - Richard P. Feynman Nobel-djas tuds:
egy napon a tudomny segtsgvel kpesek
lesznk egy enciklopdia tartalmt egyetlen
thegyre felrni
1981.09. - els tudomnyos kzlemny a tmban a Proceedings of the
National Academy of Sciences cm folyiratban
1989 - az IBM kutati (IBM Almaden Research Laboratory, San Jose,
California), psztz alagt mikroszkp segtsgvel 35 xenon (Xe)
atomot helyeztek el egy -270 C-ra httt felletre gy, hogy az IBM
betit formltk meg
ma klnleges anyagokkal (mint pl. a fullern - C60) s specilis
eljrsokkal parnyi motorokat, eszkzket s a jslathoz
kapcsoldan miniatr, 10-9 m nagysgrend betket is kpesek
vagyunk kszteni

17

2012.11.30.

STM

Az STM mint nano szerszm

35

SCANNING TUNNELING MICROSCOPY

A psztz alagt(ram)mikroszkp (Scanning Tunneling
Microscopy, STM) az a nyolcvanas vekben Gerd Binnig s Heinrich
Rohrer (IBM, Zrich) ltal kifejlesztett forradalmian j vizsgl
elljrs, amely lehetv teszi, hogy szilrd felletekrl addig soha
nem ltott felbontssal ksztsnk kpeket.
Az STM mkdsnek alapja a kvantummechanikbl jl ismert
alagtram, amely akkor folyik, ha egy hegyes t nagyjbl 1-2 nm
tvolsgra megkzelt egy elektromosan vezet felletet.
A hegyes tt egy piezoelektromos rd vgn helyezkedik el, gy
parnyi elmozdulsa elektronikusan vezrelhet. Mialatt
vgigpsztzza a felletet, az STM elektronikja mindig gy
mozdtja el, hogy az alagtram, s gy tulajdonkppen a fellet s a
t tvolsga lland maradjon. A fellet pontos lekvetse rgzthet
s brzolhat gy, mint a fellet domborzati kpe.
36

18

2012.11.30.

Scanning probe
microscopes,
developed in the
1980s, give us a
new way to see
at the nanoscale
We can now see
really small
things, like atoms,
and move them
too

This is about how big atoms are

compared with the tip of the
microscope
37

38

19

2012.11.30.

STM
A hegyes tt egy piezoelektromos rd vgre szereljk,
gy parnyi elmozdulsa elektronikusan vezrelhet.
Mialatt vgigpsztzza a felletet, az STM elektronikja
mindig gy mozdtja el, hogy az alagtram, s gy
tulajdonkppen a fellet s a t tvolsga lland
maradjon.

39

SCANNING TUNNELING MICROSCOPE

40

20

2012.11.30.

STM FELVTELEK: PLDK

Psztz alagt mikroszkppal ksztett felvtelek sorn a fellet

pontos lekvetse rgzthet s brzolhat gy, mint a fellet
domborzati kpe az egyes atomok fellete egymstl
megklnbztethet, s lthatv tehet.
41

MIRT MS A NANOMRETEK VILGA?

42

21

2012.11.30.

MKDSI ELVEK MIKRO- S

NANOSKLN
Micro- and Nano-scale physics may behave differently in
macro-scale world, e.g. Sticking effect, surface tension,
quantum tunneling effect
Surface effects are playing more important roles in the
operational physics of micro- and nano-structures and devices
Felleti s tmbben lv atomok arnya 1 cm3, 1 m3 s 1
nm3 kocka esetn (atomok tvolsga ~ 0,25 nm):
1 cm3 : (6x(4x107)2)/(4x107)3=1,5x10-7

1 m3 : ~(6x40002)/(4000)3=0,0015
1 nm3 : (64-8)/64=0,875

SKLA ANALZIS

Log weight-lifted

Most physical quantities (force,

World weight-lifting record
mass, volume, etc.) scale differently
Vs. Body weight
with dimension L
Example: weight-lifting of human
being. Assume the muscle stress is
the same for different human body
size,
Body weight ~ L3
Weight-lifted
~(muscle stress) x (area)
~ constant x L2
~ (Body weight)2/3
Log body weight

22

2012.11.30.

A KIS MRETEK HATSA

Fellet m2
Trfogat m3
Sly N

F x2
V x3
G V x3

F/V 1/x
x - hosszmret

45

A MRETCSKKENTS HATSAI
A mikro-mechanikai
eszkzkben az
arnyos
mretcskkents
rvn vrhat
elnyk:
a rezonancia
frekvencia,
az elrhet
elektromos tr,
a termikus vlaszid,
a folyadk-mechanika
(Reynolds szm
levegben )
vonatkozsban.
46

23

2012.11.30.

A MRETEK HATSA A
SZRNYFREKVECIRA A TERMSZETBEN

Halszsas: 0,01 Hz

verb: 1 Hz

sznyog: 400 Hz

A kisebb mret repl llatok szrnyfrekvencija nagyobb ,

mint a nagyobb termetek
47

A MRETEK HATSA A
SZRNYFREKVECIRA A TERMSZETBEN

Fizikai modell:
f m-1/2 L-3/2
Az adatokra illeszthet egyenes meredeksge kb. -1,5 !

48

24

2012.11.30.

A KIS MRETEK KVETKEZMNYEI

1. A lineris mretek cskkensvel a trfogat, s ezzel egytt
a tmeg/sly is a harmadik hatvnnyal cskken. Emiatt pl. a
finommechanikban, vagy akr a mikromechanikban az
objektum vagy eszkz slybl ered erhatsokra nem kell
mretezni.

2. A lineris mretek cskkentsvel a fellet ngyzetesen,

azaz a trfogathoz kpest egy hatvnykitevvel kisebb
mrtkben cskken. Teht a kisebb objektum, eszkz vagy
szerkezet viszonylag nagy fellet lesz. Ennek egyik
kvetkezmnye, hogy egy kisebb szerkezet relatve nagyobb
teljestmnyekre kpes, mivel a relatve nagyobb fellet miatt
jobbak a htsi viszonyok. A msik, mg fontosabb
kvetkezmny, hogy megn, illetve dominnss vlnak a 49
felleti hatsok.

A KIS MRETEK KVETKEZMNYEI

3. A lineris mretek cskkensvel a rendszer
sajtfrekvencija nvekszik. Ez azt jelenti, hogy
kisebb rendszer gyorsabb mkdsre kpes.
4. A lineris mretek cskkensvel a kapacitsok
(elektromos-, h-) is cskkennek. Ennek
kvetkezmnye szintn a gyorsabb mkds.
5. A lineris mretek cskkensvel eddig figyelmen
kvl hagyott fizikai trvnyek kerlnek eltrbe. Pl.
felleti feszltsg, vagy kvantummechanikai (mret-)
hatsok.
50

25

2012.11.30.

NANOSZERKEZETEK

Milyen nanoszerkezeteket llthatk el ?

Milyen nanoszerkezetek tallhatk a termszetben ?

51

SZN NANOCSVEK

52

26

2012.11.30.

FULLERNEK (C60)

53

BIO-NANOGPEK A TERMSZETBEN

54

27

2012.11.30.

NANOSZERKEZETEK LTREHOZSA

55

ELLLTSI MDSZEREK

56

28

2012.11.30.

PLDA: NSZERVEZDS HATSA

57

A NANOVILG FEL
VIZULIS

OPTIKAI
MIKROSZKP

SZRS(RNTGEN,
ELEKTRON,
NEUTRON)
KZELI TR
MIKROSZKP,
AFM, STM

58

29

2012.11.30.

T A NANONTECHNOLGIHOZ
Szerkezeti
mretek

Mretcskkens, multidiszciplinarits, integrci

Fizika
Elektrotechnika

TOP DOWN

Elektronika

Mikroelektronika
Anyagmrnksg

Biolgia
Sejtbiolgia
Molekulris
biolgia

Nanotechnolgiai
alkalmazsok

Kvantum
hatsok

Funkcionlis
molekula-tervezs
Kmia

Komplex
vegyszet

Szupramolekulris kmia

Elektronikus
s fotonikai
eszkzk,
rzkelk,
biochipek

BOTTOM UP

Biolgiai elvek,
fizikai jelensgek
s kmiai
tulajdonsgok
integrlt kiaknzsa

59

VGE

60

30