TECONOLOGIA

MEMS
VALDIVIA SALDAA MIGUEL ALONSO
LIMA 2016

MEMS EN LA VIDA DIARIA

HISTORIA
Todo comenz en 1947, cuando William Shockley, John Bardeen y Walter
Brattain de los Laboratorios Bell lograron la construccin del primer transistor
de punto de contacto utilizando germanio, de aproximadamente media
pulgada de espesor.
En 1954, CS Smith descubri el efecto piezorresistivo de materiales
semiconductores, como el silicio y el germanio.

HISTORIA
En 1964, un equipo de Westinghouse liderado por Harvey Nathanson produjo
el primer lote fabricado de dispositivos MEMS. Este dispositivo estaba
compuesto por un componente mecnico con elementos electrnicos y fue
llamado transistor de puerta resonante (RGT).

HISTORIA
Entre 1960 y 1970 se desarrollaron sensores de presin gracias a la evolucin
en el grabado de las obleas de silicio. En la dcada de 1960, se fabricaron
transistores de silicio mediante el proceso qumico de grabado isotrpico de
silicio.
En la dcada de 1970, un sensor micromecanizado de presin con un
diafragma de silicio fue desarrollado por Kurt Peterson, del laboratorio de
investigacin de IBM. La membrana delgada permiti una mayor
deformacin, lo que proporcion una mayor sensibilidad en comparacin con
otros sensores de presin de membrana de ese momento.

HISTORIA
En 1979, a Hewlett-Packard se le ocurri una alternativa a la impresin de
matriz de punto denominado Thermal Inkjet Technology (TIJ). Esta tcnica de
impresin calentaba la tinta rpidamente, consiguiendo que las gotas de
tinta fluyeran por los cabezales de inyeccin permitiendo una rpida creacin
de imagen en papel y otros soportes.

HISTORIA
En 1993 Analog Devices fue el primero en producir en alto volumen
acelermetros micromecanizados superficialmente. Fue muy fiable, muy
pequeo y muy barato.
En 1999, Lucent Technologies desarroll el primer interruptor de red ptica
de MEMS.

EVOLUCION

Micro-ElectroMechanicalSystems
Son la integracin de elementos mecnicos, sensores, actuadores, y la propia
electrnica en un substrato de silicio a travs de tecnologa de micro-fabricacin.
Los MEMS representan una amplia clase de dispositivos que pueden ser
construidos a travs de diferentes procesos tecnolgicos, en diversos materiales
y pueden aplicarse en distintas reas de la ciencia.

Tamao de un MEMS

ALGUNAS APLICACIONES
Sensor inercial: acelermetros.
Ink-jet para impresoras. Giroscopios. Micro fluidos.
Micrfonos (micro cmara, laptop, celulares)
Sistemas de radio frecuencia.
Sensor de presin. Microdisplays.
Analizadores de sangre

ACELEROMETROS
Aplicaciones: Disparo de Airbag, Telfonos celulares, ABS, Velocmetros
angulares, girscopos.

OPTICA
DMD: Digital Micromirror Device
Lasers ajustables
Switches pticos para interconexin de fibra

COMUNICACIONES
Switches de RF

Wireless MEMS
Antennas
Color bi-stable display
Micro-switches
Tunable capacitors and inductors
Tunable filters

MICROFLUIDRICA
Aplicaciones: Inyectores de tinta, Regulacin de caudales de fluidos, Sensores
de presin

MEDICINA
Los MEMS en la medicina incluyen el uso de varios sensores tales como
presin, temperatura, flujo, acelermetros, giroscopio y ptica.
Los MEMS son capaces de colectar, procesar y comunicar una gran cantidad
de informacin con poco consumo elctrico.

MEDICINA

Que se necesita para fabricar

MEMS?
Conocimiento de las propiedades fsicas de los materiales: mecnicas, elctricas,
trmicas y magnticas.
Herramientas para trabajar los materiales o micromaquinado: Procesos de
Litografa - Etching - Deposition.
Solucin: Procesos CMOS
Muy estudiado y consolidado en la industria.
Permite integrar sensores, transductores, procesamiento de seales, control y
actuadores todo en el mismo chip.

DISEO
1. Objetivo >> requeriemietos >> especificaciones
2. Modelo conceptual
3. Eleccin de un proceso
4. Diseo
5. Modelo matemtico >> Simulaciones: spice, matlab-simulink, por
elementos finitos: Coventor, ANSYS.
6. Fabricacin de un prototipo
7. Medicin. Permite determinar si se cumplieron los objetivos. De lo contrario
se debe volver a la etapa 4 o a la etapa 2.

VENTAJAS
Posibilidad de fabricacin masiva con bajo costo.
Componentes ms sensibles.
Tamao y peso reducidos.
Consumo de energa pequeo.
Alta precisin.
Partes mecnicas especficamente diseadas, las cuales sern ms rpidas y
eficientes.
Materiales con propiedades que les permiten ser ms fuertes y ligeros.
Sistemas mecnicos y pticos ms rpidos y complejos.

FABRICACION DE MEMS EN EL
MUNDO

PRONOSTICO DE MERCADO

MEMS(Micro-ElectroMechanicalSystems)