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及其電性討論
MOSFET
為一四端元件,。
由一個 MOS 二極體與兩個相鄰的 pn 接面所構成
。
為積體電路中最重要的電路元件,因為比起相同
功能的 BJT (雙極性電晶體):
面積小,可增加積體電路密度。
製程步驟較少,製造成本較低。
製成 CMOS (NMOS + PMOS) ,功率消耗更低。
6.1 MOS 二極體
為 MOSFET 的核心部分:由上往下之材料分別為金屬、
氧化層及半導體。
氧化層的厚度
通常 Si 底材是接地的,故金屬對於歐姆接面
為
正偏壓時, V 為正;反之, V 為負。
6.1.1 The Ideal MOS Diode
理想的 MOS 二極體定義:
在沒有外加偏壓時(即熱平衡狀態),金屬功函數 qm 和
半導體功函數 qs 的能量差為零,即功函數差 qms 等於零
。
能帶圖彎曲使 EF 與 Ei 的差改變,形成以下之情
形:
聚積 (accumulation): V < 0
空乏 (depletion): V > 0
反轉 (inversion): V > 0
非平衡狀態下之能帶圖( p 型)
V < 0 ,因於表面形成電洞堆積,故稱 accumulation
電洞受電場影響上移
EF 更靠近 Ev ,故電洞大增
於表面形成電洞堆積
非平衡狀態下之能帶圖( p 型)
(續)
V > 0 ,因電洞遠離表面,故形成空乏區。
EF 更遠離 Ev ,故電洞減少,剩下固定的受體離子
V 越大, W 越大。
非平衡狀態下之能帶圖( p 型)
(續)
V >> 0 時, EF 遠離 Ev 且 EF 已超過 Ei ,此種情形為 n 型之
能帶,故 p 型半導體表面之載子變為電子,稱為反轉。
非平衡狀態下之能帶圖( n 型)
V << 0 時, EF 遠離 Ec 且 EF 已超過
Ei ,此種情形為 p 型之能帶,故 n
型半導體表面之載子變為電洞。
非平衡狀態下之能帶圖( p 型)
Ψs 〈 0 :電洞聚積
Ψs = 0 :平帶狀況
ΨB 〉 Ψs 〉 0 :電洞空乏
Ψs = ΨB : ns = np = ni
Ψs 〉 ΨB :反轉
Ψs 〉 2ΨB :強反轉
當表面電子濃度 ns = Na
Ei EF kT N a
s :表面電位 B ln 時,稱為強反轉。
q q ni
bulk 由半導體電子濃度公式可得
空乏區寬度
在空乏與反轉狀態下都有空乏區。
同 n+p 接面之電荷、電場、電位分
析,可知
當強反轉時,偏壓略有改變,電子
濃度會大量增加(指數函數關係)
,故空乏區電荷的改變不大,可說
此時空乏區寬度已達最大值。
空乏區寬度與摻雜濃度關係
摻雜濃度越高,空乏區寬度越小。
理想 MOS 曲線
沒有功函數差時,外加偏
壓跨在氧化層及半導體上
。
V Vo s
其中
Qs d Qs
Vo Eo d
ox Co
理想 MOS 曲線( C-V 圖)
聚積情形下,負偏壓加的越多,累積在半導體表面的電洞
濃度增加,同時金屬層表面感應之負電荷也增加,電壓僅
跨在氧化層上。
故 MOS 的單位面積電容只是氧化層電容:
ox …….. 為定值
C (acc) Cox
'
d
理想 MOS 曲線( C-V 圖)
空乏情形下,正偏壓加的越多,半導體空乏區寬度增加,同時
金屬層表面感應之正電荷也增加。電壓跨在氧化層與空乏區上
。
故相當於氧化層電容與半導體的接面電容串聯起來:
1 1 1 Cox' C 'j V 越大,空乏區
C (depl )
'
C ' ( depl ) Cox ' C j ' 寬度越大, Cj 越
Cox' C 'j
小 , C’(depl) 越
小
空乏情形下之 CV 圖
' '
C C
ox j ox s
C (depl )
'
其中: Co Cj
Cox' C 'j d W
C 1
V 越大,電容值會下降
Co 2 ox V
2
1
qN A s d 2
理想 MOS 曲線( C-V 圖)(續)
反轉情形下,電荷的變化受頻率的影響。在低頻情形下,
正偏壓加的越多,半導體空乏區寬度不變 (Wm) ,固定受體離
子不變,增加的是半導體表面的反轉電子濃度,同時金屬層
表面感應之正電荷也增加。此時的外加電壓稱為臨界電壓:
qN AWm 2 s qN A (2 B )
VT s (inv.) 2 B
Co Co
理想 MOS 曲線( C-V 圖)(低頻)
故 MOS 的單位面積電容只是氧化層電容:
ox
C (inv) Cox
'
剛剛反轉之點,反轉電子為零,空乏區寬度
達最大值。
理想 MOS 曲線( C-V 圖)(高頻)
高頻下的反轉情形,屬於少數載子的反轉電子無法及時反應,
空乏區的寬度也無太明顯的變化,所以電容不會增加,維持在
最低值。
理想 MOS 曲線( C-V 圖) (n 型半導
體)
6.1.2 SiO2-Si MOS 二極體
平衡狀態下(無
偏壓),半導體
能帶為彎曲的。
常用電極材料:
鋁:功函數為 4.1e.v
n+ 複晶矽:功函數為 4.05e.v
p+ 複晶矽:功函數為 5.05e.v
功函數差和電極材料與基
板摻雜濃度有關
平帶電壓( Flat-band voltage )
定義:使半導體區之能帶無彎曲所施加的閘極電壓。
即半導體層內無電荷存在
VFB ms
加閘極電壓,跨於氧化層及半導體的表面電位會改變:
即 ms
氧化層電荷:
可區分為四種電荷 :
1. 介面捕獲電荷 (Qit) 2. 固定氧化物電荷 (Qf)
3. 氧化層陷住電荷 (Qot) 4. 可動離子電荷 (Qm)
~ 介面陷住電荷 Qit~
(interface trapped charge)
產生原因:
起因於 Si-SiO2 介面的不連續性及介面上
的未飽和鍵。通常 Qit 的大小與介面化學成分
有關。
改善方法:
於矽上以熱成長二氧化矽的 MOS 二極體
使用低溫(約 450℃ )氫退火來中和大部分
的介面陷住電荷,或選擇低阻陷的晶片(即
(100) 晶片)。
~ 固定氧化層電荷 Qf~
(fixed oxide charge)
產生原因:
當氧化停止時,一些離子化的矽就留在介
面處(約 30Å 處)。這些離子及矽表面上
的不完全矽鍵結產生了正固定氧化層電荷
Qf 。
改善方法:
可藉由氧化製程的適當調整,或是回火
(Annealing) 來降低其影響力或是選擇較佳
的晶格方向。
~ 氧化層陷住電荷 Qot~
(oxide trapped charge)
產生原因:
主要是因為 MOS 操作時所產生的電子
電洞被氧化層內的雜質或未飽和鍵所捕捉
而陷入。
改善方法:
可利用低溫回火消除掉。
~ 可移動離子電荷 Qm~
(mobile ionic charge)
產生原因:
通常是鈉、鉀離子等鹼金屬雜質,在高
溫和高正、負偏壓操作下可於氧化層內來
回移動,並使得電容 - 電壓特性沿著電壓軸
產生平移。
改善方法:
藉由在矽氧化製成進行時,於反應氣體
進行時加入適量 HCl ,其中的 Cl 離子會中
和 SiO2 層內的鹼金屬離子。
平帶電壓 VFB (續)
VG
當 VG = VFB 時, s = 0 ,故可得: VFB Vox(假設無功函數差)
氧化層所跨電位可以下分析得知:
Vox
平衡狀態 平帶狀態
平帶狀態下,假設氧化層電荷 QO 存在與半導體之界面處(即 x0 = d ),則可
得: Q d Q
FB o
o
C0 d Co
平帶電壓 VFB (續)
若氧化層中之電荷為任意分佈(一般情形),平帶電壓
可表示為:
1 1 d
VFB
Co d 0
x ( x)dx
再考慮功函數差,並忽略界面陷阱電荷,平帶電壓會變
為:
VFB ms
Q f Qm Qot
Co
氧化層電荷對 CV 圖的影響
其中平帶電壓狀態介於
聚積狀態與空乏狀態之
間:
ox
C '
FB
ox kT s
tox
s q qN a
由平帶電壓公式可知:
(Qo 包括 Qf 、 Qot 、 Qm)
Qo Qo 為正時,平帶電壓會比 ms 小
VFB ms
Cox Qo 為負時,平帶電壓會比 ms 大
氧化層電荷對 CV 圖的影響(續)
由平帶電壓的分析可知,當氧化層電荷為正時, CV 圖會
往左平移,且電荷越多,平移量越多;當氧化層電荷為負
時, CV 圖會往右平移。
Qo 包 括 : 固 定 氧
化 層 電 荷 Qf 、 氧
化 層 陷 住 電 荷 Qot
以及移動性離子電
荷 Qm 。
界面電荷對 CV 圖的影響
表面週期性終止,有懸鍵產生,在禁制能帶會形成界面
態階。
電荷可在半導體與界面態階之間流動,隨著偏壓之改變
,界面態階與費米能階的相關位置不同,界面的淨電荷
也會改變。
一般而言,在 EFi 上方的稱為受體態
階,在 EFi 下方的稱為施體體態階。
施體態階:
施體態階:因費米能階在施體態階
因費米能階在施體態階
之上(填滿)時,為電中性;費米
之上(填滿)時,為電中性;費米
能階在施體態階之下(空的)時,
能階在施體態階之下(空的)時,
為帶正
為帶 正電。
電。
受體態階:
受體態階:因費米能階在受體態階
因費米能階在受體態階
之下(空的)時,為電中性;費米
之下(空的)時,為電中性;費米
能階在施體態階之上(填滿)時,
能階在施體態階之上(填滿)時,
為帶負
為帶 負電。
電。
界面電荷對 CV 圖的影響(續)
以 p 型半導體為例:
聚積狀態下(偏壓為負),受
體態階都在費米能階之上,故
為中性;但部分施體態階在費
米能階之上,故為帶正電。
即聚積狀態下,界面淨電荷為
正。
偏壓轉為正,當 EF 正好等於 E
Fi 時,受體態階都在費米能階
之上,故為中性;施體態階 都
在費米能階之上,故也為中性。
即偏壓由負轉正時,正好有一
個狀態(中間能隙),界面淨
電荷為零。
界面電荷對 CV 圖的影響(續)
以 p 型半導體為例:
反轉狀態下(偏壓為更
正),施體態階都在費米
能階之下,故為中性;但
部分受體態階在費米能階
之下,故為帶負電。
即反轉狀態下,界面淨電
荷為負。
綜合以上所述,閘極所加之偏壓由負變為正時,界面態階的
淨電荷由正變到零再到負,故 CV 圖與理想結果比較,應該是
部分右偏,部分左偏。
界面電荷對 CV 圖的影響(續)
界面電荷為正, 界面電荷為負,
故往左偏移 故往右偏移
和理想 CV 圖比
較圖形變得更平
滑
氧化層電荷與界面電荷影響之比較
氧化層電荷效應:圖形形
氧化層電荷效應:圖形形
狀不變,但平移。
狀不變,但平移。
界面電荷效應:圖形形狀
界面電荷效應:圖形形狀
改變,變得更平滑。
改變,變得更平滑。
6.1.3 電荷耦合元件( CCD )
L :通道長度 Z :通道寬度
d :氧化層厚度 rj :接面深度
6.2.1 基本特性
VG < VT ,源極到汲極間好
似二個背對背的 pn 接面,
加一汲極電壓,只有微弱
的逆向漏電流。
VG > VT ,半導體表面產生
反轉電子,只要加一點汲
極電壓,可使電子由源極
很小
流向汲極,產生通道電流 I
D。
理想狀況下,閘極電壓只
控制反轉電子的多寡,不
會使電子通過氧化層至閘
極端。
平衡狀態: VG=0 , VDS=0
產生反轉層 能帶圖維持水平
VG > 0 , VDS=0
線性區
當汲極電壓增加至使跨於汲
極端氧化層電壓恰等於 VT ,
此時反轉電子密度為零(稱
為夾止 ) ,故 ID-VDS 圖的斜
率變為零,即電流維持不變
,達到飽和。
此時 VGS VDS ( sat ) VT
當汲極電壓大於 VDS(sat)
反轉電荷為零的點往源
極移動,此時電子注入 電場
空間電荷區,在藉由電
場掃至汲極。
當 VDS > VDS(sat) , p 點
的電壓仍為 VDS(sat) ,故
ID 維持不變。
MOSFET 理想條件
閘極構造為理想 MOS 二極體,即沒有介面陷阱、固
定氧化物電荷或功函數差。
只考慮漂移電流。
反轉層的載子移動率為定值(電場不會太大)。
摻入雜質於通道內均勻分布。
反向漏電流可忽略。
通道橫向電場 ( 閘極電壓造成,在 x 方向的 εx ,和
電流垂直 ) 遠大於縱向電場 ( 汲極電壓所產生,在
y 方向的 εy ,和電流平行 ) 。
電流電壓關係式……漸變通道近似法
因只考慮漂移電流,故以歐
姆定律來求電流電壓關係。
於基本片斷 dy 範圍內
dV I D dR
(在 dy 範圍內的通道電
導)
1 Z n
其中 dR G Qn y
G dy
電流電壓關係式(續)
將歐姆定律關係式由 y = 0 , V = 0 積分到 y = L , V = VD
可求得 ID 關係式:
2 2 s qN A 3
Z VD
VD 2 B 2 2 B 2
3
I D nC0 VG 2 B VD
L 2 3 C0
Ei E F
q
當 VD 很小時(線性區), ID 為:
Z 1 2
I D nC0 VG VT VD VD for VD VG VT
L 2
2 s N A 2 B
其中臨限電壓 VT 2 B(無功函數差及氧化層電荷)
C0
理想電流關係圖
利用在飽和狀態達到時,汲
極之反轉電子濃度為零,可
將電流公式簡化為:
Z n ox
I Dsat VG VT 2
2dL
依所推導之電流公式所畫
之關係圖,可看出電流電
壓成正比的線性區以及電
流維持定值的飽和區。
2V
VDsat VG 2 B K 1 1 G2
2
K
s qN A
其中 K
Co
通道電導 和傳導係數 ( Transconductanc
e)
在線性區通道電導 gD 和傳導係數 gm 為:
I D Z
gD n C0 VG VT
VD VG 常數
L
I D Z
gm nC0VD 此為閘極控制電流的能力
VG VD 常數
L
I D Z n ox
gm (VG VT )
VG VD 常數
Ld
次臨限區 (Subthreshold region)
聚積狀態:源極電子要克服
很大的位障才能到達汲極。
弱反轉狀態:源極電子到達汲 強反轉狀態:源極電子到達汲
極要克服的位障比較小。 極要克服的位障很小,好像歐
姆接觸。
次臨限區(續)
在此區電流主要是擴散電流而不是飄移電流,與載子濃
度梯度有關,故電流關係式中有指數項:
因 s VG VT
VG
S 越大,表示 ID 隨 VG 的變化越小,
on-off 特性不明顯; S 越小,表示 ID
隨 VG 的變化越大, on-off 特性顯著
6.2.2 MOSFET 的種類
N 通道增強模式
基板為 p 型半導體,汲
極與源極為 n 型摻雜。
N 通道空乏模式
P 通道增強模式
基板為 n 型半導體,汲
極與源極為 p 型摻雜。
P 通道空乏模式
N 通道增強模式 (Enhamcement mode)
N 通道增強模式:在零閘極電壓,氧化層下沒有電子反轉
層,需加正閘極電壓才會有反轉層。
沒接通
電子由基底進入
N 通道空乏模式 (Depletion mode)
N 通道空乏模式:在零閘極電壓,氧化層下已有電子反轉
層存在。
接通
電子由基底進入
P 通道增強模式
P 通道增強模式:在零閘極電壓,氧化層下沒有電洞反轉
層,需加負閘極偏壓才會有反轉層。
沒接通
電子由基底流出
P 通道空乏模式
P 通道空乏模式:在零閘極電壓,氧化層下已有電洞反轉
層存在。
接通
電子由基底流出
6.2.3 臨界電壓控制
基板偏壓效應( Substrate bias effects )
基板可不與源極接在一起另接偏壓,但必須保持源極到基
板不為導通狀態(逆向偏壓),及 VBS 必須大於或等於零
。
VBS 大於零時,能帶更彎曲,有更多的空乏區電荷:
VSB = 0 ,反轉點能帶圖
基板偏壓效應(續)
造成臨限電壓的增加
VT
Qsc
2 q s N A
2 B VBS 2 B
s 增加,造成CSo 的減少,Con-off
o 特性更佳。
S大
S小
在 MOS 的製程上
, VT 受到閘極材
料種類以及基板摻
雜濃度影響。
例如:對 NMOS ( P
型基板)而言,增加
受體摻雜( B ),可
增加 VT ,反之,將硼
摻入 PMOS 的基板
( N 型),可降低 VT
的絕對值。
調整 VT 的方法: 1. 基板摻雜
調整 VT 的方法: 2. 調整氧化層厚度
很大!!!
調整 VT 的方法: 4. 選擇適當的閘極材料
利用調整功函數差來控制 VT
Figure 6.22. Threshold voltage adjustment using substrate
bias.