虛擬半導體廠之製造執行系統設計

虛擬晶圓廠之製造執行系統設計

國立台灣科技大學
電 機 工 程 系

學生：鄭善文
學號： M8607038

指導教授：鍾聖倫 博士

中華民國八十八年六月二十二日
1 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

半導體晶圓生產流程示意圖

2 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

晶圓生產流程示意圖
Station 11
P13

Station 13
P16

Station 9
Station 10
P10
Station 12 P12
Station 14 P15
P18

Station 8
Station 15 P9
P20
Station 1
P2 P8 P11 P14
Station 16
P17 P19 P22
P21
Station 7
P7
Station 17 Station 6
P23 Station 3 P6
P3

Station 4
Station 18 Station 2 P4
P24 P1

Station 5
P5

Done Start

3 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

製造執行系統 (MES) 架構

Operatio ns results
What was built Operatio ns(s) results
What was built
and how it is built

How to build
What to build in structio ns
MRP MES Controls

How to build What was Device Input/Output

and labor built and labor manupula tio n sensor
in structio ns response controls valu es

People Devices

4 國立台灣科技大學電機工程系
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製造執行系統資訊之彙整

製造流程
定義

在製品管理 廠區佈局

製造執行系
統( MES)

製程機台 製程
管理 特別指令

物料搬移
管理

5 國立台灣科技大學電機工程系
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以生產隧道為基礎之現代化晶圓廠佈局
工廠 (factory)
區域 (area)
隧道 灣 (bay) 無人搬運車
(tunnel) (AGV)

P A P P P P P
P P P P P A P
P P P A P P P
S S S
機台 自動倉儲
(processing eq) (stocker)

S S S
P A P P P P P
P P P P P A P
P P P A P P P

6 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

以隧道為基礎的單元控制
Interbay
通往
其他 單元控制器
隧道 機台 機台 機台 Cell
Controller
自動倉儲
(stocker)

µL¤H·h¹B¨®
AGV

µL¤H·h¹B¨®
AGV 多重串列埠
(mega-port)
自動倉儲 隧道
(stocker) (tunnel)

通往 機台 機台 機台 EtherNet
其他
隧道

7 國立台灣科技大學電機工程系
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晶圓生產流程定義
Process

ProcessVersion 1 ProcessVersion 2 ¡K¡K¡K

ProcessVersion 1
Start End
Route 1 Route 2 Route 3 ¡K Route n

Route 1
Step 1 Step 2 Step 3 ¡K Step m

StepVersion 1 ¡K¡K¡K 2
StepVersion

PUFamily1 PUFamily2
ProcessingUnit1 ProcessingUnit2
Recipe1 Recipe2

8 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

步驟執行之標準流程
新投料 報廢 完成
出貨

報廢
決定晶舟

決定下一個
等待 步驟 批貨
派貨 加工完成

形成併批 移入過帳

移入過帳
派工 處理中

9 國立台灣科技大學電機工程系
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傳統晶圓製造流程
• 找尋機台所要處理的批貨。
• 依據經驗法則或生管部門所交待決定批貨。
• 依據工單上所記載的生產步驟，查閱機台配方
手冊，選用適當的配方，並且輸入於機台之中
，開始執行。
• 記錄生產配方及移入過帳的時間於工單之上。
• 移出批貨、登記工單、搬至下一個執行機台的
自動倉儲系統。

10 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

本論文研究動機

• 針對晶圓廠製程需求，設計並實現製造執行系
統資料庫的核心
• 支援排程派班及物料管理系統等，達成全廠自
動化之解決方案架構
• 支援虛擬晶圓廠概念中其他決策模組引用 MES
資料庫的管道
• 提供使用者定義、更新、查詢 MES 資料庫之
圖形化界面

11 國立台灣科技大學電機工程系
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文獻審閱
虛擬晶圓廠概念
– 委工客戶
– TCAD 模擬環境
– Integrated Test Facility
– 虛擬實境
製造執行系統需求
– 生產排程及現廠執行之間
– 整廠製造流程之運作
– 自動化資料整合

12 國立台灣科技大學電機工程系
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本論文貢獻
• 利用關連式資料庫設計晶圓廠所需之製造執行
系統 (MES) 資料庫
• 實現 MES 過帳伺服器 (Transaction Server) 作為
與其他決策模組整合界面
• 支援晶圓廠之全自動化解決方案
• 實現 Web–based MES 人機界面作為存取資料
庫之人性化界面

13 國立台灣科技大學電機工程系
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製造執行系統架構圖

製造執行系統

Stored
Procedeure Database MES
engine
資料庫
E/SQL
routines

MES 過帳伺服器 MES 網站伺服器

Net

Web
單元控制器
Client

14 國立台灣科技大學電機工程系
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1 、 MES 資料庫： E/R 圖分析

ProductFam ily Product Family = Product Family
ProductFam il y C H AR ( 12)
ProdcutFam il yD esc C H AR ( 32)

Wafer Prior ity

Wafer C HAR ( 16) Pr iori ty C H AR (16)
Lot C HAR ( 16) Pr iori tyValue IN TEGER
Pr oduct
Sl ot IN TEGER InventoryStatus
Pr oduct C H AR ( 16) InventoryStat us = I nventoryStatus
Pr oductN am e C H AR ( 32) InventoryStatus C H AR (12)
Pr oductF am ily C H AR ( 12)
Lot = Lot
Pr oductStatus C H AR ( 12)
EngineerN am e C H AR ( 12) LocationType = Locat ionType LocationType
C r eateTm st D ATE LocationType C HAR (12)
R eleaseTm st D ATE LocationTypeD esc C HAR (32)
C ustom er C H AR ( 32) Lot
Lot C HAR(16) EqAgvPort
C assette
C assette C HAR(16) Port = EqPort
C assette C H AR (16) EqPort C HAR(16)
Pr ocess C HAR(16)
Cassette = CassetteLocation C H AR (16) AgvPosition C HAR(16)
Pr oduct C HAR(16)
InventoryStatus C H AR (12)
Pr ocessVer si on INT EGER
Ti m eStap D AT E Port
WaferType C HAR(12)
Equipment = Equipment Equipm ent C H AR (16)
Product = Product WaferR esistence FLOAT PortType
Port C H AR (16)
Quantity INT EGER Por tType C HAR (12)
Cassett e = Casset te PortType C H AR (12) PortType = PortType
Pl annedStar tTm st D ATE Por tTypeD esc C HAR (32)
PortD esc C H AR (32)
Product = Product Pl annedD ueT m st D ATE
OverrideD ueTm st D ATE M oveH istory
ActualStar tT mst D ATE Alar m H istory
M vH istorySeq IN TEGER
ProcessGen ActualFinishTm st D ATE C assette CH ARLocat
(16)ion = Location Alarm Serial INT EGER
ProcessGen C H AR (12) Process = Process BasePr iority C HAR(16) Fr om Location CH AR (16) Alarm ID C HAR(30)
ProcessVersion = ProcessVersion Equipm ent C HAR(16)
OverridePri or ity C HAR(16) ToLocation CH AR (16)
C ustom er C HAR(20) LeaveTm st DATE Port C HAR(16)
Equipment = Equipment OpenT m st D ATE
R eachTm st DATE Port = Port
OpenU ser C HAR(12)
WaferType = WaferType
Location = FromLocation
Locat ion = ToLocation OpenC om m ent C HAR(80)
Pr oductProcess C loseTm st D ATE
Pr oduct C H AR (16) C loseUser C HAR(12)
Pr ocess
ProcessGen = ProcessGen C H AR (16) Wafer Type
Location C loseComm ent C HAR(80)
System User Pr ocessVersion IN TEGER WaferType C H AR (12) Lot = Lot
Location = Location Locati on C H AR (16)
System User C HAR(12) U pper ResistLim it F LOAT Equipm entType Equipm entClass
Equipm ent C H AR (16) Equipment = Equipment
U ser N am e C HAR(32) Low er ResistLim it F LOAT Equi pm entType
Port = Port C H AR (12) Equipm entClass C H AR ( 16)
Port C H AR (16)
Passw ord C HAR(8) Locati onType C H AR (12)
D epar tm ent C HAR(12) Pr ocess LotJob
Pr ocess CH AR ( 16) Lot CH AR ( 16) Equi pm ent Bay
Pr ocessN am e CH AR ( 32) Equipm ent C HAR(16)
LotJobSequence IN TEGER EquipmentType = Equipment Type Bay C H AR (16)
Engineer N am e CH AR ( 12) Process = Process Equipm entType C HAR(12)
LotJobStatus CH AR ( 12) BayNum ber C H AR (2)
WaferType CH AR (ProcessVersion
12) = ProcessVersion
Locati on CH AR ( 16) Equipment = Equipment Equipm entClass C HAR(16) EquipmentClass = EquipmentClass
BayDesc C H AR (32)
Pr ocessGen CH AR ( 12) Equipm entMode C HAR(16)
Pr ocess CH AR ( 16) Lot = Lot T unnel C H AR (16)
Pr ocessTech CH AR ( 12) WaferType = WaferType M axCapacity
LotJobSequence = Lot JobSequence IN TEGER Bay = Bay
Pr ocessVersion IN TEGER
C ur C apacity IN TEGER EqLayout
R outeSequence IN TEGER
Process = Process Bay C HAR(16) Tunnel C HAR(16)
R oute CH AR ( 16) Tunnel = Tunnel
Equipment = Equipment EqSer ial C HAR(16) Tunnel = Tunnel
StepSequence IN TEGER Tunnel C HAR(16)
ProcessTech = ProcessTech
Step CH AR ( 16) EqSequence IN TEGER Equipm ent C HAR(16)
StepVer sion IN TEGER D estStocker C HAR(16) PUFamily = PUFamily
Equipm ent CH AR ( 16) Equipm entDesc C HAR(32)
ProcessVer si on
PU F am ily CH AR ( 16) Tunnel
Pr ocess C HAR(16) R eticl e
Pr ocessingUnit CH AR ( 16) ProcessingUnit = ProcessingUnit Tunnel C HAR (16)
ProcessTech Pr ocessVersion IN TEGER
PU Type CH AR ( 12) R eticle C HAR (32) TunnelDesc C HAR (32)
Pr ocessVerStatus C HAR(12)
ProcessTech C HAR( 12) R ecipe CH AR ( 32) R eticleD esc C HAR (32)
BeginTm st D ATE Equipment = Equipment PU Fam ily
StdC ycleTi m e DATE
EndTm st D ATE PU Fam ily C HAR( 16)
R eticl e CH AR ( 32)
StdCycleTim e D ATE Tunnel C HAR( 16)
C urr entQuantity IN TEGER Reticle = Reticle Tunnel = Tunnel
StdYield FLOAT PU Fam ilyDesc C HAR( 32)
StdNonPr ocessTim e D ATE ProcessingUnit
Pr ocessingU nit C H AR ( 16)
Equipm ent C H AR ( 16)
PU Type C H AR ( 12)
ProcessingUnit = ProcessingUnit M inBatchSize IN TEGER
ProcessRoute PUFamily = PUFamily
M axBatchSize IN TEGER
Pr ocess C HAR(16) ProcessingUnit = ProcessingUnit Tunnel = Tunnel
Process = Process EqpStatus C H AR ( 12)
Pr ocessVersion IN TEGER ProcessVersion = ProcessVersion PU D esc C H AR ( 32)
R outeSequence IN TEGER Process = Process
R oute C HAR(16) ProcessVersion = ProcessVersion
RouteSequence = RouteSequence BatchLot PU Fam ilyPU
Route = Route Batch C H AR (16) PU Fam ily C HAR(16)
LotSequence IN TEGER Pr ocessingU nit C HAR(16)
Lot C H AR (16)
LotJobSequence IN TEGERPUType = PUType
R oute R ecipe
LoadingSequence IN TEGER
Route C HAR(16) BoatPosition IN TEGER PU Type CH AR( 12)
RouteN am e C HAR(32) Ar eaTunnel
R outeStep R ecipe CH AR( 32)
RouteD esc C HAR(32) Area C H AR ( 16)
R oute C H AR( 16) R ecipeD esc CH AR( 32)
RouteStatus C HAR(12) Route = Route PUType = PUType Tunnel C H AR ( 16)
Route = Route StepSequence IN TEGER Recipe = Recipe
Layer C HAR(16) StepSequence = StepSequence
Step C H AR( 16)
ReticleLayer C HAR(16)
Batch
StdCycleT im e D ATE PU Type
StdYield FLOAT Batch C H AR (16) Area = Area
PUType CH AR( 12)
BatchStatus C H AR (12) PUType = PUType
StdNonProcessTim e D ATE PUTypeD esc CH AR( 32)
Step = Step Pr ocessingU nit C H AR (16)
Batch = Batch
PU Type C H AR (12)
Ret icleLayer = Ret icleLayer Layer = Layer Reticle = Reticle
Recipe C H AR (32)
Reticle C H AR (32) PUType = PUType Ar ea
StepVersion Recipe = Recipe Ar ea C H AR ( 16)
R eti cl eLayer Layer Step C HAR( 16) Factory C H AR ( 16)
Step Ar eaD esc C H AR ( 32)
ReticleLayer C HAR(16) Layer C H AR (16) Step = Step
StepVer si on IN T EGER ProcessingUnit = ProcessingUnit
Step C H AR (16) StepVersion = StepVersionProcessingU ni t C HAR( 16)
Layer Sequence IN TEGER
StepN am e C H AR (32) PU Fam ily C HAR( 16)
St ep = Step Recipe = Recipe
StepD esc C H AR (32) Reci pe C HAR( 32)
EngineerN am e C H AR (12) StepStatus C HAR( 12) PUFamily = PUFamily Factory = Factory
StdC ycleTim e D AT E
StdYield F LOAT
StdN onProcessTi m e D AT E

Factory
Factory C HAR (16)
FactoryD esc C HAR (32)

15 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

MES 資料庫

• 製造執行系統的核心
• 全廠資料彙整中心
• 關連式資料庫
• 利用概念式實體–關係資料模型整理出製程決
策所需相關資料，轉換成關連式資料模型，建
構在關連式資料庫上
• 關連式資料庫上包含：廠區佈置架構、製造流
程定義、機台管理、物料搬移管理及在製品追
蹤等決策模組之 MES 資料庫系統

16 國立台灣科技大學電機工程系
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2 、 MES 過帳伺服器 (Transaction Server)

17 國立台灣科技大學電機工程系
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MES 過帳伺服器

• 提供過帳界面
• 製程訊息的追蹤
• 以預儲程序為主
• 初始化過程中，作整廠控制的設定資料下載
• 正常運作時，作自動過帳及對 MES 資料作查
詢、記錄的動作

18 國立台灣科技大學電機工程系
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MES 過帳伺服器：支援排程派班決策系統

Step
Stored StepVersion
3
Procedeure FCS.sql
FCS.LotQueryStepER
SQL
MES
2 Query 資料庫
spLotQueryStepER
4 MES FCSProcedure
TxSMsgPack 過帳伺服器
TxSMsgUpPack
TxSSendData
TxSReceiveData
5
WM_LOT_QUERY_STEPER_R

PackSendData
WM_LOT_QUERY_STEPER

FCS

19 國立台灣科技大學電機工程系
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3 、支援晶圓廠之全自動化解決方案
廠區流程控制 ( Shop Floor Control )

MRP MES

單元控制器( Cell Controller ) FCS

MCS ECS PDS

Stocker AGV Equipment

Driver Driver Driver

不同種類之通訊方式
系統間資料交換
儀器設備 Stocker AGV Equipment
SECS 通訊
PIO 通訊

20 國立台灣科技大學電機工程系
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全自動化製造執行流程

• 併批
• 派貨
• 移入過帳
• 下達生產配方
• 製程數據的收集
• 移出過帳
• 執行下一個步驟

21 國立台灣科技大學電機工程系
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4 、 Web–based MES 人機界面

22 國立台灣科技大學電機工程系
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MES 人機界面
•開放性網路架構
•以瀏覽器顯示圖形化使用者介面
•可獲得即時性資料
• 提供跨網路之使用者界面
• 對 MES 資料庫內之資料表作新增、更改、查
詢、刪除的動作。
• 下達投料命令執行加工步驟

23 國立台灣科技大學電機工程系
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論文架構
壹、緒論
貳、晶圓之製造執行系統
參、製造執行系統資料庫設計
肆、虛擬晶圓廠架構界面整合
伍、四隧道之虛擬晶圓廠
陸、結論與未來研究方向

24 國立台灣科技大學電機工程系
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資料庫設計方法
步驟 重點 產生 說明
資料收集與 1、 與使用者溝通 資料庫的需求與 建構一資料庫系統所需的
分析 2、 了 解 系 統 作 業 流 規格 各種資訊及使用者作業需
程 求。
概念設計 1、 決定實體 實體–關係資料 將上個步驟所得的分析結
2、 定義實體的屬性 模型 果做具體化描述，一般是
3、 找 出 實 體 之 間 的 藉概念式資料模型來表示
關係 這階段的結果。
邏輯設計 由 實 體之 間 的 關 係 型 關連式資料模型 將概念設計所產生的概念
態：1 對 1、1 對多、 式資料模型加入作業需
多 對 多， 轉換 成 關 連 求，而設計成一個由資料
式的 表示 方式 ， 並將 庫系統可處理的資料庫結
所 得 的 關 連作 正規 化 構，在這個階段通常利用
處理。 適用於關連式資料庫的關
連式資料模型。
實體設計 將各 個 關 連依 特 定 的 資料庫表格 將關連式資料模型中的各
資料 庫系 統建 立檔 案 個關連表格進行正規化處
結構。 理，然後在每個關連表格
中加入主鍵，並且適當的
取用外鍵。最後為資料庫
系統設定索引。

25 國立台灣科技大學電機工程系
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MES 資料庫資料模組

1¡B 廠區佈置架構

2¡B 機台管理 4¡B 物料搬移管理

3¡B 製造流程定義 5¡B 在製品管理

26 國立台灣科技大學電機工程系
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1 、廠區佈置架構

Factory
Factory FactoryDesc

Equipment (1,1)
(1,4) Equipment has

has

(1,1)
Area Tunnel TunnelDesc
AreaDesc Area
(1,n)
(1,n) (1,4) (1,2) (1,1) Bay
has Tunnel exist Bay
BayDesc

27 國立台灣科技大學電機工程系
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2 、機台管理
(0,n) EquipmentType
of EquipmentType
Bay (1,n)
BayDesc Bay located
(1,1) (1,1)
Equipment (1,1) (0,n) EquipmentClass
EquipmentDesc Equipment is_kind_of EquipmentClass
EquipmentMode
EqSequence (1,6)
MaxCapacity (1,2)
CurCapacity (1,1) Port
has Port PortDesc
has
(1,1)
(0,n) PortType
of PortType PortTypeDesc
Tunnel
Tunnel TunnelDesc
(1,1)
(0,n) ProcessingUnit (1,1) (0,n) PUType
MaxBatchSize ProcessingUnit uses PUType PUTypeDesc
MinBatchSize
sit PUDesc
EqpStatus (0,n) (0,n)
(1,1) (1,1) Recipe
PUFamily
(1,n) has Recipe RecipeDesc
PUFamilyDesc PUFamily grouping

28 國立台灣科技大學電機工程系
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3 、製造流程定義
SystmUser (0,n) (1,1) (0,1) (0,n) ProductFamily
UserName EngineerName create by belo ng to ProductFamily ProductFamily Desc
Department
Password Product
(0,n) (0,n) CreateTmst
ReleaseTmst Product ProductN ame
Custo mer ProductStaus

(0,n)

Layer be made use

Layer LayerSequence
(0,n) ProcessTech
of ProcessTech
(0,n) (0,n) (0,1)
ReticleLayer (1,1) Process
ReticleLayerID ReticleLayer created by Process ProcessName
DefaultVersoin

(0,n) (1,2) (0,1) (0,n) ProcessGen

of of ProcessGen
(1,n)
in (0,n) in
in WaferType ProcessVersio n
(0,1) UpperResistLimit WaferType ProcessStatu s
LowerResistLimit Begin Tmst
Route (0,1) (1,1) EndTmst
RouteName
RouteStatu s (0,n) (0,n) Std CycleTime
Std CycleTime Route in clu des ProcessVersion Std Yield
Std Yield Std NonProcessTime
Std NonProcessTime (0,n) Processin gUnit
(0,n) MaxBatchSize
process in ProcessingUnit Min BatchSize
RouteSequence PUDesc
contain s EqpStatu s
StepSequence
created by (0,1) (0,n) PUFamily
(1,1) (0,n) (0,1) process in PUFamily PUFamily Desc

Step (0,n) (1,1)

StepName Step in StepVerion StepVerStatu s
Std CycleTime
Std Yield (0,n) Recip e
Std NonProcessTime process use Recipe Recip eDesc
(1,1)
StepVersio n

29 國立台灣科技大學電機工程系
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4 、物料搬移管理
InventoryStatus
Status InventoryStatus

0,n)

(1,1)
Cassette (1,1) Port
Cassette be placed in Port PortDesc

(1,n)
(1,1)
(0,n)
Location (1,1)
LocationDesc Location at

(1,n)
(1,1) (1,1) (1,1) AgvPostion
match EqAgvLocation

record
(0,n)
move
LocationType
of LocationType LocationTypeDesc
(1,1)

(1,1) MvHistorySeq
MoveHistory LeaveTmst
ReachTmst

30 國立台灣科技大學電機工程系
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5 、在製品追蹤管理
Wafer (0,1) (0,1) (0,1) Cassette
Slo t Wafer contain ed with Cassette Invento ryStatu s

(1,25) produced
PlannedStartTmst (1,1)
Lot PlannedDueTmst
WaferResistance Lot Overrid eDueTmst
Quantity Actu alStartTmst
Custo mer Actu alFin ishTmst (0,n)
WaferType (0,n) (0,1) LotS tatu s
UpperResistLimit WaferType belo ng_to (0,1) Product
CreateTmst
LowerResistLim it ReleaseTmst Product ProductN ame
Custo mer ProductStaus
Prio rity (0,n) (0,1)
Prio rity Valu e Priority what prio rity
Locatio n
related Location Locatio nDesc
Reticle (0,n) (0,1)
ReticleDesc Reticle use
(0,n)
(0,n) (1,1)
LotJobSequence ProcessVersio n
Equip ment (0,n) (1,1) LotJob Located ProcessStatu s
Equip mentD esc Equipment work_on (1,1) Begin Tmst
EndTmst
(1,1) Std CycleTime
(0,n) Std Yield
(0,n) (1,1) in ProcessVersion
be worked Std NonProcessTime
Processin gUnit
ProcessingUnit MaxBatchSize
Min BatchSize
(0,1) (1,1) (0,n) Route
(0,n) in Route RouteName
PUFamily (0,n) RouteStatu s
PUFamily Desc PUFamily in Std CycleTime
Std Yield
PUType Std NonProcessTime
PUTypeDesc (0,n) (0,1) (1,1)
PUType in in
(0,n) (0,1)
has
(1,1) Batchin gWith Loadin gSequence (0,n)
Use (0,n) BoatPositio n
Recipe use Step
Recip e (0,1) (0,n) Step StepName
Recip eDesc
(1,1) Std CycleTime
Use Batch Std Yield
(0,1) Batch BatchStaus
Std NonProcessTime

31 國立台灣科技大學電機工程系
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MES 過帳伺服器

• TxSReceiveData – 訊息接收
• TxSMsgUnPack – 將訊息拆解成具結構化的資料
• FCSProcedure – FCS 的預儲程序呼叫
• MCSProcedure – FCS 的預儲程序呼叫
• TxSMsgPack – 將資料封裝
• TxSSendData – 訊息傳送

32 國立台灣科技大學電機工程系
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MES 過帳伺服器之訊息處理
MES 過帳伺服器
TxSSendData

TxSMsgPack

FCSProcedure MCSProcedure

TxSMsgUnPack

TxSReceiveData

33 國立台灣科技大學電機工程系
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預儲程序之特性
• 資料庫語言
• 有傳統的 SQL 指令： insert 、 update…
• 流程控制語言： if…else 、 begin…end
• 可對資料作控制： Cursor 、 Fetch
• 存放在資料庫端
• 執行時只呼叫其名稱即可執行程式

34 國立台灣科技大學電機工程系
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MCS 初始化設定之訊息流程

Stored Cassette
3
Procedeure MCS.sql
MCSRead.MCSReadStocker
SQL
MES
2 Query 資料庫
4 spMCSReadStocker
MES MCSProcedure
將資料存成檔案
過帳伺服器
5 TxSMsgUpPack
TxSMsgPack
TxSSendData TxSReceiveData

6 G8T11

7
1
將檔案下載
PackSendData
G8T1

MCS

35 國立台灣科技大學電機工程系
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FCS 初始化 / 正常運作

Step
Stored StepVersion
3
Procedeure FCS.sql
FCS.LotQueryStepER
SQL
MES
2 Query 資料庫
spLotQueryStepER
4 MES FCSProcedure
TxSMsgPack 過帳伺服器
TxSMsgUpPack
TxSSendData
TxSReceiveData
5
WM_LOT_QUERY_STEPER_R

PackSendData
WM_LOT_QUERY_STEPER

FCS

36 國立台灣科技大學電機工程系
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MES 網站伺服器之優點

• 解決軟體安裝的困難
• 標準使用者環境較易維持
• 可迅速改變服務項目
• 與硬體平台無關
• 利用超連結特性，程式與文件可交互使用

37 國立台灣科技大學電機工程系
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MES 使用者界面功能圖
MES
使用者界面

製程定義 批貨管理 物料管理 機台管理 系統管理

Product Create Lot Location Equipment Factory

ProductProcess Lot Dispatch Cassette Port Area

Process LotHistory LocationType ProcessingUnit Tunnel

ProcessVersion Wafer InventoryStatus PUFamily AreaTunnel

ProcessRoute WaferType PUFamilyPU Bay

Route Priority PUType ProductFamily

RouteStep Recipe ProcessGen

Step EquipmentType ProcessTech

StepVersion EquipmentClass Layer

View PortType ReticleLayer

Process
Flow
Reticle

SystemUser

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虛擬半導體廠之製造執行系統設計

MES 網站伺服器存取資料庫

Database

5¡B 將結果回傳

4¡B 連結資料庫
7¡B 轉換成 HTML Format 6¡B 以 OO4O22 物件接收資料

Web Server ASP Engine ODBC

2¡BASP Format

3¡B 使用Oracle OO4O22 物件

8¡B 下載網頁

1¡B 要求下載網頁

Web Client

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最初始化：新增資料
將 ProductFamily 資料回傳
3
給 MES Web Server

Stored PPDFind.sql
2 PPDFind.ProductFamilyShowAll ProductFamily
Procedeure
SQL
Query
6 MES
資料庫
ProductAdd.sql
ProductAdd
MES
W eb Server

要求下載網頁
1
讀取 Global.asa

將要求的網頁下
4
載給 Web Client

Web Client 5 將網頁填寫完畢

按下 Submit

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正常運作：投料

Stored 4 Lot
Procedeure FCS.sql LotJob
FCS.NewLot SQL
Query
MES
資料庫
3
spNewLot
5
MES MES
TxSMsgPack 過帳伺服器 W eb Server
2
TxSSendData L000001
LotDispatch.class
6
WM_FCM_LOT_ARRIVAL

1
SendData
L000001

FCS Web Client

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虛擬半導體廠之製造執行系統設計

成果展示

• 四隧道之虛擬晶圓廠
• 系統架構及硬體配置
• 展示目的
• 展示流程

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虛擬半導體廠之製造執行系統設計

四隧道之虛擬晶圓廠佈局

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製程定義
No. Step Name PUFamily /ProcessingUnit Recipe 36 Step_Development develop develop 75 Step_Development develop develop 114 Step_OxideEtch oxide-1-1 oxide
1 Step_Clean clean clean 37 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure 76 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure 115 Step_Ion-Implant implantor implantor
2 Step_Dry-oxide dry-oxide-1-1 dry-oxide 38 Step_NitrideEtch etchnitride-1-1 etchnitride 77 Step_Poly-SiEtch etchpolysi-1-1 etchpolysi 116 Step_PRStripper prstripper prstripper
3 Step_HMDS hmds hmds 39 Step_Ion-Implant implantor implantor 78 Step_PRStripper prstripper prstripper 117 Step_HMDS hmds hmds
4 Step_Stepper stepper stepper 40 Step_PRStripper prstripper prstripper 79 Step_Ellipsomete ellipso-1-1 ellipso
118 Step_Stepper stepper stepper
5 Step_Development develop develop 41 Step_Clean clean clean 80 Step_Clean clean clean
119 Step_Development develop develop
6 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure 42 Step_Wet-oxide wet-oxide-1-1 wet-oxide 81 Step_Annealing annealing-1-1 annealing
120 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure
7 Step_OxideEtch oxide-1-1 oxide 43 Step_BOE etchboe-1-1 etchboe 82 Step_Ion-Implant implantor implantor
121 Step_Ion-Implant implantor implantor
8 Step_PRStripper prstripper prstripper 44 Step_H3PO4 etchh3po4-1-1 etchh3po4 83 Step_HMDS hmds hmds
122 Step_PRStripper prstripper prstripper
45 Step_BOE etchboe-1-1 etchboe 84 Step_Stepper stepper stepper
9 Step_Depth depth-1-1 depth
123 Step_Clean clean clean
46 Step_Clean clean clean 85 Step_Development develop develop
10 Step_BOE etchboe-1-1 etchboe
47 Step_Dry-oxide dry-oxide-1-1 dry-oxide 86 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure
124 Step_Annealing annealing-1-1 annealing
11 Step_Clean clean clean
48 Step_BOE etchboe-1-1 etchboe 87 Step_Ion-Implant implantor implantor 125 Step_BOE etchboe-1-1 etchboe
12 Step_Dry-oxide dry-oxide-1-1 dry-oxide
49 Step_Clean clean clean 88 Step_PRStripper prstripper prstripper 126 Step_Sputtering sputtering-1-1 sputtering
13 Step_Nitride nitride-1-1 nitride
50 Step_Dry-oxide dry-oxide-1-1 dry-oxide 89 Step_Clean clean clean 127 Step_HMDS hmds hmds
14 Step_HMDS hmds hmds
51 Step_Ion-Implant implantor implantor 90 Step_TEOS teos-1-1 teos 128 Step_Stepper stepper stepper
15 Step_Stepper stepper stepper
52 Step_HMDS hmds hmds 91 Step_OxideEtch oxide-1-1 oxide 129 Step_Development develop develop
16 Step_Development develop develop
53 Step_Stepper stepper stepper 92 Step_Ellipsomete ellipso-1-1 ellipso 130 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure
17 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure
54 Step_Development develop develop 93 Step_Clean clean clean 131 Step_MetalEtch etchmetal-1-1 etchmetal
18 Step_NitrideEtch etchnitride-1-1 etchnitride
55 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure 94 Step_Annealing annealing-1-1 annealing 132 Step_PRStripper prstripper prstripper
19 Step_Ellipsomete ellipso-1-1 ellipso 56 Step_Ion-Implant implantor implantor 95 Step_HMDS hmds hmds 133 Step_Alloy alloy-1-1 alloy
20 Step_Depth depth-1-1 depth 57 Step_PRStripper prstripper prstripper 96 Step_Stepper stepper stepper
21 Step_PRStripper prstripper prstripper 58 Step_HMDS hmds hmds 97 Step_Development develop develop
22 Step_MetalEtch etchmetal-1-1 etchmetal 59 Step_Stepper stepper stepper 98 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure
23 Step_BOE etchboe-1-1 etchboe 60 Step_Development develop develop 99 Step_Ion-Implant implantor implantor
24 Step_H3PO 61 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure 100 Step_PRStripper prstripper prstripper
25 Step_Ellipsomete ellipso-1-1 ellipso 62 Step_Ion-Implant implantor implantor 101 Step_HMDS hmds hmds
26 Step_Ion-Implant implantor implantor 63 Step_PRStripper prstripper prstripper 102 Step_Stepper stepper stepper

27 Step_Clean clean clean 64 Step_BOE etchboe-1-1 etchboe 103 Step_Development develop develop

28 Step_WellDriveIn welldrivein-1-1 welldrivein 65 Step_Clean clean clean 104 Step_CDmeasure cdmeasure cdmeasure

29 Step_BOE etchboe-1-1 etchboe 66 Step_Dry-oxide dry-oxide-1-1 dry-oxide 105 Step_Ion-Implant implantor implantor
67 Step_Poly-si poly-si-1-1 poly-si 106 Step_PRStripper prstripper prstripper
30 Step_4-PointProb 4-point-1-1 4-point
31 Step_Clean clean clean 68 Step_Ion-Implant implantor implantor 107 Step_Clean clean clean

32 Step_Dry-oxide dry-oxide-1-1 dry-oxide 69 Step_Clean clean clean 108 Step_BPSG bpsg-1-1 bpsg
70 Step_Annealing annealing-1-1 annealing 109 Step_Annealing annealing-1-1 annealing
33 Step_Nitride nitride-1-1 nitride
71 Step_BOE etchboe-1-1 etchboe 110 Step_HMDS hmds hmds
34 Step_HMDS hmds hmds
35 Step_Stepper stepper stepper

44 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

硬體展示系統架構

MES 資料庫

MES 過帳伺服器 FCM

MES 網站伺服器 LVC/LV

Ethernet

Tunnel1 C/C Tunnel2 C/C Tunnel3 C/C Tunnel4 C/C

45 國立台灣科技大學電機工程系
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全自動化解決方案架構
MES
資料庫

Web MES MES

Client 網站伺服器 過帳伺服器

FCM

MCS

FCS
BS LVC

Driver/ LV
AGV
Equipment

stock

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虛擬半導體廠之製造執行系統設計

展示目的

• MES 資料庫反應不同配置之晶圓廠佈局
• 支援自動化其他可勾構決策模組之初始化需求
• 支援自動化其他決策模組作無人化之製造流程
• 即時性更新全廠區與製程執行相關的資訊
• 允許線上查詢全廠區製造執行相關訊息

47 國立台灣科技大學電機工程系
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展示流程
• 新增資料至資料庫
• 初始化
– MCS ：無人搬運車、空中環形載具路徑資料
、自動倉儲內之晶舟資料及機台處理單元資料
– FCS ：隧道內機台處理單元設定資料
• 正常運作
– MCS ：晶舟狀態之登錄
– FCS ：標準執行步驟
– 在製品製程之追蹤

48 國立台灣科技大學電機工程系
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新增資料至資料庫之流程

Web Web
Client Server MES
要求下載網頁
查詢資料

將資料回傳
將資料嵌入網頁之中

填寫完畢，按下Submit
將資料儲存在 MES 資料庫

49 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

MCS 初始化流程
MCS TxS 製程定義 在製品管理 物料搬移管理 儀器設備 廠區佈置
G8T1~ 4
查詢各隧道自動倉儲系統的晶舟資料

回傳各隧道自動倉儲系統的晶舟資料
G8T11~ 14

G8T5
查詢廠區內所有的晶舟資料

回傳廠區內所有的晶舟資料
G8T15

G8T6
查詢 Loop Vehicle 的路徑資料

回傳 Loop Vehicle 的路徑資料

G8T16

G8T7~ 10
查詢各隧道無人搬運車的路徑資料

回傳各隧道無人搬運車的路徑資料
G8T17~ 20

G8T21¡B23¡B25¡B27
查詢各隧道內的機台處理單元資料

回傳各隧道內的機台處理單元資料
G8T22¡B24¡B26¡B28

50 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

FCS 初始化流程

FCS FCM TxS 製程定義 在製品管理 物料搬移管理 儀器設備 廠區佈置

WM_TUNNEL_INIT
WM_TUNNEL_INIT
尋找所有隧道內的機台處理單元

回傳所有隧道內的機台處理單元
WM_TUNNEL_INIT_R
WM_TUNNEL_INIT_R

WM_EQ_INIT
WM_EQ_INIT
尋問隧道內機台處理單元的設定資料
回傳隧道內機台處理單元的設定資料
WM_EQ_INIT_R
WM_EQ_INIT_R

51 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

MCS 正常運作流程

MCS TxS 製程定義 在製品管理 物料搬移管理 儀器設備 廠區佈置

G9T1
更改晶舟的位置

更改批貨的位置

52 國立台灣科技大學電機工程系
虛擬半導體廠之製造執行系統設計

FCS 正常運作流程
FCS TxS 製程定義 在製品管理 物料搬移管理 儀器設備 廠區佈置
詢問批貨下一個生產製程步驟資料
回傳第一個生產步驟為何
詢問此生產步驟在那一個隧道內
回傳隧道資料
詢問此生產步驟資料
回傳批貨下一個生產製程步驟資料
WM_FCM_LOT_ARRIVAL

WM_QUERY_STEPER
詢問此生產步驟使用何種機台處理單元、生產配方
回傳使用的機台處理單元、生產配方
WM_QUERY_STEPER_R

WM_LOT_DISPATCH
將批貨形成併批登記
WM_LOT_MOVE_IN
批貨移入機台登記
WM_LOT_PS
批貨處理中登記
WM_LOT_PE
批貨處理結束登記
WM_LOT_MOVE_OUT
將批貨移出機台登記
WM_LOT_STEP_ADVANCE
詢問批貨下一個生產製程步驟資料
回傳下一個生產步驟為何
詢問此生產步驟在那一個隧道內
回傳隧道資料
詢問此生產步驟資料
回傳批貨下一個生產製程步驟資料
WM_LOT_STEP_ADVANCE_R

53 國立台灣科技大學電機工程系
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投料流程

MES MES FCS TxS 在製品管理

Web Client Web Server
批貨代碼
批貨代碼
查詢批貨的資料
回傳 批 貨資料
WM_LOT_ARRIVAL

54 國立台灣科技大學電機工程系
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本論文貢獻
• 利用關連式資料庫設計晶圓廠所需之製造執行
系統 (MES) 資料庫
• 實現 MES 過帳伺服器 (Transaction Server) 作為
與其他決策模組整合界面
• 支援晶圓廠之全自動化解決方案
• 實現 Web–based MES 人機界面作為存取資料
庫之人性化界面

55 國立台灣科技大學電機工程系
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未來方向

• 與其他自動化模組界面擴充
• 系統穩定性之改良
• 跨網路之使用者界面
• 物件導向式之資料庫設計

56 國立台灣科技大學電機工程系